C - Chemistry – Metallurgy – 23 – C
Patent
C - Chemistry, Metallurgy
23
C
C23C 16/455 (2006.01)
Patent
CA 2706255
A tube-array showerhead for CVD or PECVD on large substrates delivers precursors to a process chamber via an array of tubes drilled with precision holes The tubes rapidly become contaminated with use and must be changed frequently to maintain process quality An improved manifold tor a tube-array showerhead, intended tor processes with a low pressure differential between the tubes and pioce&s chambci, includes holding-stubs to hold each tube by its ends outside the manifold block At least one holding-stub for each tube is sp.pi.ung-loaded along the direction of the tube's operating axis Contaminated tubes can be removed, and clean tubes installed, without disassembling the manifolds or disturbing any high-pressure-differential seals to the ambient atmosphere or precursoi supplies This invention reduces production costs by decreasing chamber down-time and reducing the risk of creating leaks when tubes are changed.
La présente invention concerne une pomme d'arrosage comportant un réseau de tubes permettant un dépôt chimique en phase vapeur (CVD) ou un dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD) sur de grands substrats, laquelle pomme d'arrosage délivre des précurseurs à une chambre de traitement par l'intermédiaire d'un réseau de tubes percés de trous de précision. Les tubes sont rapidement contaminés par l'usage et doivent être fréquemment changés pour conserver une qualité de traitement. Un collecteur perfectionné pour une pomme d'arrosage comportant un réseau de tubes, conçu pour des traitements avec un faible différentiel de pression entre les tubes et la chambre de traitement, comprend des tronçons de support pour maintenir chaque tube par ses extrémités à l'extérieur du bloc collecteur. Au moins un tronçon de support pour chaque tube est chargé sur un ressort le long de la direction de l'axe de fonctionnement des tubes. Les tubes contaminés peuvent être retirés et les tubes propres peuvent être installés sans démonter les collecteurs ou sans exposer les joints d'étanchéité soumis à un fort différentiel de pression, à l'atmosphère ambiante ou aux alimentations en précurseurs. Cette invention réduit les coûts de production en réduisant la durée d'indisponibilité de la chambre et le risque de créer des fuites lorsque les tubes sont changés.
Forefront Innovative Technologies Inc.
Mccarthy Tetrault Llp
Optisolar Inc.
LandOfFree
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