Radiation detection device and method of producing the same

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G - Physics

01

T

G01T 1/20 (2006.01) G01T 1/24 (2006.01) G01T 1/29 (2006.01)

Patent

CA 2260041

A radiation detection device comprising: a light receiving element array (6) formed by arranging two-dimensionally light receiving elements (2) on a substrate (1), arranging bonding pads (4) on the outer periphery of the substrate (1) and electrically connecting them to light receiving elements (2) of each row or column with signal lines (3), and disposing a protective passivation film (5) on the light receiving elements (2) and on the signal lines (3); a scintillator (7) of a CsI columnar crystal deposited on the light receiving surface of the light receiving element array (6); a thinly elongated resin frame (8) so disposed inside the bonding pads (4) as to encompass the outer periphery of the light receiving portion; and a protective film (12) formed by sandwiching an inorganic film (10) with Parillen organic films (9 and 11), and laminated inside the resin frame (8). The outer periphery of the protective film (12) is brought into close contact with the resin frame (8) by a covering resin (13).

L'invention concerne un dispositif de détection de radiations comprenant: une matrice de photorécepteurs (6) que l'on forme en disposant des éléments photorécepteurs (2) en deux dimensions sur un substrat (1), en disposant des plots de connexion (4) sur la périphérie extérieure du substrat (1) et en connectant électriquement ceux-ci aux éléments photorécepteurs (2) de chaque rangée ou colonne, avec des lignes de signaux (3), puis en déposant un film de passivation (5) protecteur sur les éléments photorécepteurs et sur les lignes de signaux (3); un scintillateur (7) constitué d'un cristal CsI en forme de basalt déposé sur la surface photoréceptrice de la matrice de photorécepteur; un cadre de résine (8) finement allongé, placé à l'intérieur des plots de connexion (4) de façon à entourer la périphérie extérieure de la partie photoréceptrice; et un film protecteur (12) formé par prise en sandwich d'un film inorganique (10) avec des films organiques de Parillen (9 et 11) et appliqué à l'intérieur du cadre de résine (8). La périphérie extérieure du film protecteur (12) est mise en contact étroit avec le cadre de résine (8) au moyen d'une résine de couverture (13).

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