Radiation detection device and method of producing the same

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G - Physics

01

T

G01T 1/20 (2006.01) G01T 1/24 (2006.01)

Patent

CA 2261663

A radiation detection device comprising: a light receiving device array (6) formed by disposing two-dimensionally light receiving elements (2) on a substrate (1), arranging bonding pads (4) on the outer periphery of the substrate (1) and electrically connecting them to light receiving elements (2) of each row or column with signal lines (3) and depositing a protective passivation film (5) on the light receiving elements (2) and on the signal lines (3); a scintillator (7) of a CsI columnar crystal deposited on the light receiving surface of the light receiving device array (6); and a protective film (11) formed by sandwiching an Al inorganic film (9) with Parillen organic films (8 and 10) and laminating it on the scintillator (7). The outer periphery of the protective film (11) is cut at such a position at which the bonding pads (4) are exposed, and is bonded closely to the passivation film (5) by a covering resin (12).

L'invention concerne un dispositif de détection de radiations comprenant: une matrice de photodétecteurs (6) que l'on forme en disposant des éléments photorécepteurs (2) en deux dimensions sur un substrat (1), en disposant des plots de connexion (4) sur la périphérie extérieure du substrat (1) et en connectant électriquement ceux-ci aux éléments photorécepteurs (2) de chaque rangée ou colonne avec des lignes de signaux (3), puis en déposant un film de passivation (5) protecteur sur les éléments photorécepteurs (2) et sur les lignes de signaux (3); un scintillateur (7) constitué d'un cristal CsI en forme de basalt, placé sur la surface photoréceptrice de la matrice de photorécepteurs (6); et un film protecteur (11) formé par prise en sandwich d'un film inorganique de Al (9) avec des films organiques de Parillen (8 et 10) et appliqué sur le scintillateur (7). La périphérie extérieure du film protecteur (11) est coupée aux endroits où les plots de connexion (4) sont à nu et il est lié étroitement au film de passivation (5) par une résine de couverture (12).

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