H - Electricity – 01 – L
Patent
H - Electricity
01
L
H01L 31/09 (2006.01) G01T 1/24 (2006.01) H01L 27/14 (2006.01) H01L 27/146 (2006.01)
Patent
CA 2731307
An X-ray detector 1 includes: an X-ray conversion layer 17 which is made of amorphous selenium and absorbs incident radiation and generates charges; a common electrode 23 provided on a surface on the side on which radiation is made incident of the X-ray conversion layer 17; and a signal readout substrate 2 on which a plurality of pixel electrodes 7 for collecting charges generated by the X-ray conversion layer 17 are arrayed, and further includes: an electric field relaxation layer 13 provided between the X-ray conversion layer 17 and the signal readout substrate 2 and containing arsenic and lithium fluoride; a crystallization suppressing layer 11 provided between the electric field relaxation layer 13 and the signal readout substrate 2 and containing arsenic; and a first thermal property enhancement layer 15 provided between the electric field relaxation layer 13 and the X-ray conversion layer 17 and containing arsenic.
Linvention concerne un détecteur de rayons X (1) qui est constitué de sélénium amorphe et qui comprend une couche de conversion de rayons X (17) absorbant le rayonnement incident et générant une charge électrique, une électrode commune (23) disposée sur la surface de la couche de conversion de rayons X (17) du côté exposé au rayonnement, et une carte de circuit de lecture de signaux (2) sur laquelle sont disposées de multiples électrodes de pixel (7) qui recueillent la charge générée par la couche de conversion de rayons X (17). Le détecteur de rayonnement comprend en outre une couche de modération de champ électrique (13) qui est disposée entre la couche de conversion de rayons X (17) et la carte de circuit de lecture de signaux (2) et qui contient de larsenic et du fluorure de lithium, une couche de suppression de cristallisation (11) qui est disposée entre la couche de modération de champ électrique (13) et la carte de circuit de lecture de signaux (2) et qui contient de larsenic, ainsi quune première couche de renfort des caractéristiques thermiques (15) qui est disposée entre la couche de modération de champ électrique (13) et la couche de conversion de rayons X (17) et qui contient de larsenic.
Hirai Tadaaki
Igasaki Yasunori
Nakane Osamu
Ogusu Koichi
Okamura Yoshinori
Fetherstonhaugh & Co.
Hamamatsu Photonics K.k.
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-2026357