Radiation sensor device and radiation source module...

G - Physics – 01 – J

Patent

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G01J 1/42 (2006.01) A61L 2/08 (2006.01) A61L 2/10 (2006.01) A61L 2/28 (2006.01) G02B 5/28 (2006.01) H01L 31/0248 (2006.01)

Patent

CA 2540589

A radiation sensor device comprising a body portion having an entrance through which radiation may enter the body portion, a radiation detector and an optical filter interposed between the entrance and the radiation detector. The radiation detector is capable of detecting radiation having at least one wavelength in the range of from about 125 nm to about 1100 nm, and comprises: (i) a silicon-containing material comprising an n-doped layer disposed on a pair of p-doped layers, and (ii) a passivation layer disposed on a radiation impingement surface of the silicon~containing material, the passivation layer comprising nitrided silicon dioxide, a metal silicide and mixtures thereof. The optical filter has: (i) an optical transmittance of at least about 40% at a wavelength in the range of from about 175 nm to about 300 nm, and (ii) an optical transmittance of no greater than about 5% at a wavelength greater than about 350 nm.

Cette invention concerne un dispositif capteur de rayonnement comprenant une partie corps comportant une entrée par laquelle le rayonnement peut entrer dans la partie corps, un détecteur de rayonnement et un filtre optique intercalé entre l'entrée et le détecteur de rayonnement. Le détecteur de rayonnement est capable de détecter un rayonnement présentant au moins une longueur d'onde comprise entre environ 125 nm et environ 1100 nm et comprend: (i) un matériau contenant du silicium comprenant une couche dopée n disposée sur une paire de couches dopées p, et (ii) une couche de passivation disposée sur une surface d'impact du rayonnement du matériau contenant du silicium, laquelle couche de passivation comprend du dioxyde de silicium nitruré, un siliciure métallique et des mélanges de ceux-ci. Le filtre optique présente: (i) un facteur de transmission optique d'environ 40 % à une longueur d'onde comprise entre environ 175 nm et environ 300 nm; et (ii) un facteur de transmission optique n'excédant pas environ 5 % à une longueur d'onde supérieure à environ 350 nm.

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