Radio frequency ion source

Details Radio frequency ion source Radio frequency ion source

H - Electricity

01

J

H01J 27/16 (2006.01) H01J 27/18 (2006.01) H01J 49/10 (2006.01)

Patent

CA 2429737

An rf ion source suitable for low power operation over a range of pressures in air which comprises discharge electrode, a cathode and an anode, the cathode being connected to an rf signal supply through an associated coupling means and the anode adapted to provide a surface area over which a plasma discharge may occur no greater than substantially that of the cathodal area over which the discharge may occur. The anode and cathode are arranged to be manoeuvrable with respect to one another in order to reduce the power requirements of the system and provide a means of controlling the rf discharge and ionisation. An extended rf ion source, comprising a series of electrode pairs, provides flexibility for use in a variety of circumstances.

L'invention porte sur une source d'ions à fréquence radio pouvant fonctionner à faible puissance sur une gamme de pressions d'air, comprenant une électrode de décharge, une cathode et une anode, la cathode étant reliée à une alimentation en signaux de fréquence radio par un moyen de couplage associé et l'anode étant adaptée de manière à fournir une superficie sur laquelle une décharge de plasma peut se produire dans des proportions pas plus élevées que celles de la superficie de la cathode sur laquelle la décharge peut se produire. L'anode et la cathode sont disposées de manière à pouvoir être manipulées l'une par rapport à l'autre afin de réduire les conditions de puissance du système et afin de fournir un moyen de régulation de la décharge et de l'ionisation à fréquence radio. Une large source d'ions à fréquence radio, comprenant une série de paires d'électrodes, assure une utilisation souple dans des circonstances variées.

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