H - Electricity – 01 – J
Patent
H - Electricity
01
J
H01J 37/302 (2006.01) H01J 37/317 (2006.01)
Patent
CA 2316302
A hybrid exposure strategy for pattern generation uses wide field raster scan deflection and a uniformly moving stage to expose long stripes. Periodic analog wide field magnetic scan is augmented by a high speed electrostatic retrograde scan to keep the beam essentially stationary during exposure of rectangular flash fields and/or Gaussian beams. In this manner a staircase deflection trajectory is created for the beam. The position and dose data for each flash is derived from a rasterized data format using a decoder device.
Stratégie d'exposition hybride pour la production de motifs, qui repose sur la déflexion de balayage tramé de champ large et un élément à mouvement uniforme pour exposer de longues bandes. Le balayage magnétique à grand champ analogique périodique est augmenté par un balayage rétrograde électrostatique à grande vitesse pour garder le faisceau essentiellement stationnaire pendant l'exposition de champs d'éclair rectangulaires et/ou de faisceaux gaussiens. On peut créer de cette manière pour le faisceau une trajectoire de déflexion en escalier. Les données de position et de dose pour chaque éclair sont dérivées d'un format de données converties en trames utilisant un dispositif décodeur.
Devore William
Veneklasen Lee H.
Etec Systems Inc.
Smart & Biggar
LandOfFree
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