C - Chemistry – Metallurgy – 01 – B
Patent
C - Chemistry, Metallurgy
01
B
C01B 33/03 (2006.01)
Patent
CA 2577713
A reactor for chlorosilane compounds in which a chlorosilane compound feed gas supplied to the inside of a reaction tube can be sufficiently inhibited from permeating the wall of the reaction tube and leaking out. It is a reactor for chlorosilane compounds which includes a carbon reaction tube which has a reaction part extending from the bottom of the tube to a given height and having a silicon deposit on its inner surface and in which a chlorosilane compound and hydrogen are brought into contact with the inner surface with heating to react the chlorosilane. In the reaction tube, the inner surface and/or outer surface of the non-reaction part which is a part located on the upper side of the reaction part has undergone a treatment for gas permeation inhibition, i.e., for inhibiting the chlorosilane compound supplied to the reaction tube from permeating the wall of the non-reaction part of the reaction tube and leaking out.
La présente invention décrit un réacteur adapté à des composés de type chlorosilane. Dans ledit réacteur, il est possible d'empêcher efficacement le composé de type chlorosilane, introduit sous forme gazeuse dans une unité de réaction tubulaire, de filtrer au travers de la paroi de ladite unité et ainsi, de s~échapper du réacteur. Ce réacteur adapté à des composés de type chlorosilane inclut une unité de réaction tubulaire en carbone dont le volume utile de réaction s~étend du fond du tube jusqu~à une hauteur déterminée, et dont la surface intérieure a été traitée en y déposant un matériau à base de silicium. Dans ladite unité, le composé de type chlorosilane et du dihydrogène sont chauffés et mis en contact avec la surface intérieure pour faire réagir le chlorosilane. Dans l~unité de réaction tubulaire, la surface intérieure et/ou extérieure du volume ne servant pas à la réaction, situé du côté supérieur du volume utile de réaction, a subi un traitement permettant de renforcer son étanchéité vis-à-vis des gaz, c~est-à-dire pour empêcher le composé de type chlorosilane introduit dans ladite unité, de filtrer au travers de la paroi et ainsi, de s~échapper du réacteur.
Sakida Manabu
Wakamatsu Satoru
Macrae & Co.
Tokuyama Corporation
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-2038219