Reactor having an array of heating filaments and a filament...

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C - Chemistry, Metallurgy

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C

C23C 16/46 (2006.01) C23C 16/14 (2006.01) C23C 16/26 (2006.01) C23C 16/27 (2006.01) C23C 16/44 (2006.01) C30B 29/04 (2006.01)

Patent

CA 2240987

An apparatus for adjusting the tension on a heating filament in a reactor used in carbon deposition on a substrate via chemical-vapor deposition is disclosed as is a method for preventing breakage of the filaments during operation. The apparatus comprises a force regulator attached to an array of heating filaments. Preferably, the force regulator is adjustable and is adjusted prior to reactor operation and/or periodically or continuously as the filaments lengthen due to carburization in the carbon-vapor environment of the reactor. The adjustable force regulator attached to an array of filaments enables effective regulation of the force on a filament during reactor operation and provides an easily-maintained reactor with quick turn-around time between cycles of use.

Dispositif servant à régler la tension s'exerçant sur un filament de réchauffement dans un réacteur utilisé dans le dépôt de carbone sur un substrat par l'intermédiaire d'un processus de dépôt en phase chimique et procédé servant à empêcher la rupture des filaments pendant l'opération. Ce dispositif comprend un régulateur de force fixé à un groupement de filaments de réchauffement. Ce régulateur de force est, de préférence, réglable et est réglé avant le fonctionnement du réacteur et/ou périodiquement ou en continu simultanément à l'allongement des filaments sous l'effet de la carburation dans le milieu carbone-vapeur du réacteur. Ce régulateur permet de réguler efficacement la force s'exerçant sur un filament pendant le fonctionnement du réacteur et facilite l'entretien du réacteur en accélérant la durée de maintenance entre les cycles d'utilisation.

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