Reflectance spectrophotometric apparatus with toroidal mirrors

Details Reflectance spectrophotometric apparatus with toroidal mirrors Reflectance spectrophotometric apparatus with toroidal mirrors

G - Physics

01

J

G01J 3/02 (2006.01) G01B 11/06 (2006.01) G01J 3/42 (2006.01) G01J 4/00 (2006.01)

Patent

CA 2312892

An apparatus uses reflectance spectrophotometry to characterize a sample (16) having any number of thin films. The apparatus uses two toroidal mirrors (33, 34) in an optical relay to direct light reflected by the sample (16) to a spectrophotometer (26). A computer then analyzes the reflected spectrum to characterize the optical properties of the sample (16). The optical relay allows a range of angles of reflection from the sample (16), and has no chromatic aberration. The optical relay is also arranged so that the non- chromatic aberration is minimized. The sample (16) is mounted on a movable stage (14) so that different areas of the sample (16) may be characterized. Furthermore, a deflector (24) and a viewer (28) are used to allow the operator of the apparatus to view the region of the sample (16) under study.

La présente invention concerne un appareil utilisant la spectrophotométrie par réflectance pour préciser les caractéristiques d'un échantillon (16) comportant un nombre quelconque de films minces. L'appareil utilise deux miroirs toroïdaux (33, 34) montés en relais optique renvoyant vers un spectrophotomètre (26) la lumière de réflexion de l'échantillon (16). Un ordinateur analyse alors le spectre de réflexion de façon à préciser les caractéristiques des propriétés optiques de l'échantillon (16). Le relais optique permet une plage d'angles de réflexion depuis l'échantillon (16), et ce, sans aberration chromatique. Le relais est également agencé de façon à ramener à un minimum les aberrations non chromatiques. L'échantillon (16) est monté sur un plateau mobile (14) de façon qu'on puisse préciser les caractéristiques de différentes zones de l'échantillon (16). En outre, un déflecteur (24) et une visionneuse (28) permettent à l'opérateur de l'appareil d'observer la région de l'échantillon (16) en cours d'examen.

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