H - Electricity – 01 – S
Patent
H - Electricity
01
S
H01S 3/22 (2006.01) G03F 7/20 (2006.01) H01S 3/03 (2006.01) H01S 3/08 (2006.01) H01S 3/097 (2006.01) H01S 3/1055 (2006.01) H01S 3/134 (2006.01) H01S 3/225 (2006.01) H01S 3/036 (2006.01) H01S 3/139 (2006.01)
Patent
CA 2322005
A reliable, modular, production quality narrow-band KrF excimer laser capable of producing 10 mJ laser pulses at 1000 Hz with a bandwith of about 0.6 pm or less. The present invention is especially suited to long-term round-the-clock operation in the lithographic production of integrated circuits. Improvements over prior art lasers include a single upstream preionizer tube (56) and acoustic baffles. A preferred embodiment includes reduced fluorine concentration, an anode support bar shaped to reduce aerodynamic reaction forces on blower bearings, a modified pulse power system providing faster pulse rise time, an output coupler (65) with substantially increased reflectivity, a line narrowing module with CaF prism beam expanders, a more accurate wavemeter, a laser computer controller programmed with new and improved pulse energy control algorithm.
L'invention concerne un laser excimer Krf à bande étroite, à qualité de production, modulaire et fiable, permettant de produire des impulsions laser de 10 mJ, à 1000 Hz, avec une largeur de bande inférieure ou égale à 0,6 pm. La présente invention convient particulièrement au fonctionnement continu à long terme de la production lithographique des circuits imprimés. Par rapport aux lasers de l'art antérieur, ces lasers comprennent un seul tube préionisateur (56) amont, et des écrans acoustiques. Un mode de réalisation préféré comprend une concentration de fluor réduite, et une barre de support d'anode pour réduire les forces de réaction aérodynamiques sur les paliers de la soufflante, un système de puissance d'impulsion modifié assurant un temps de montée d'impulsion plus rapide, un coupleur de sortie (65) avec un pouvoir de réflexion sensiblement augmenté, un module de rétrécissement de lignes avec des expanseurs de faisceaux de prisme CaF, un ondemètre plus précis, un contrôleur à laser programmé avec un algorithme de commande de l'énergie des impulsions nouveau et amélioré.
Azzola James H.
Besaucele Herve A.
Das Palash P.
Ershov Alexander I.
Fomenkov Igor V.
Cymer Inc.
Fetherstonhaugh & Co.
LandOfFree
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