Resistive heaters and uses thereof

Details Resistive heaters and uses thereof Resistive heaters and uses thereof

H - Electricity

05

B

H05B 3/22 (2006.01) B29C 45/73 (2006.01) C23C 4/02 (2006.01) C23C 4/12 (2006.01) H01L 21/00 (2006.01) H05B 3/12 (2006.01) B21B 27/08 (2006.01) F27D 1/16 (2006.01)

Patent

CA 2429983

A metallic resistive heater includes an electrically conductive metallic component (330) (i.e., has low resistivity) and an oxide, nitride, carbide, and/or boride derivative of the metallic component (330) that is electrically insulating (i.e., has high resistivity). The resistivity is controlled in part by controlling the amount of oxide, nitride, carbide, and boride formation during the deposition of the metallic component and the derivative.

La présente invention concerne un élément chauffant résistif métallique et ses utilisations. Cet élément chauffant résistif comporte un composant métallique qui est électroconducteur (c'est-à-dire qui présente une faible résistivité) et un dérivé oxyde, nitrure, carbure, et/ou borure du composant métallique qui est électro-isolant (c'est-à-dire qui présente une haute résistivité). La résistivité est obtenue de façon maîtrisée en partie par régulation de la formation de la quantité d'oxyde, de nitrure, de carbure et de borure pendant le dépôt du composant métallique et de son dérivé.

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