C - Chemistry – Metallurgy – 23 – C
Patent
C - Chemistry, Metallurgy
23
C
C23C 14/30 (2006.01) C23C 14/24 (2006.01) C23C 14/54 (2006.01)
Patent
CA 2237534
An evaporated material detector can be used as a pool-height monitor to determine the position of an ingot rod. The detector is a deposition rate monitor that is positioned so that the deposition is strongly dependent on the pool height position. The detector can be positioned near the plane of the crucible for surface. The detector signal gives a strong indication whether the ingot rod is above the crucible surface, and the position of the rod can be modified so as to position the ingot rod slightly above the top surface of a crucible. In this way, the rod position can be maintained, producing a more uniform deposition.
Détecteur de matière évaporée pouvant être utilisé comme appareil de mesure de la hauteur du bain de fusion afin de déterminer la position d'une tige. Le détecteur est un appareil de mesure du taux de déposition qui est placé de sorte que la déposition est fortement dépendante du niveau de la hauteur du bain de fusion. Le détecteur peut être installé près du plan de la surface supérieure du creuset. Le signal du détecteur donne une forte indication, à savoir si la tige est au-dessus de la surface du creuset, et la position de la tige peut être modifiée de manière à placer la tige légèrement au-dessus de la surface supérieure du creuset. De cette manière, il est possible de conserver la position de la tige et de réaliser une déposition plus uniforme.
Chang Ping
Smith P.a. Joel
Gowling Lafleur Henderson Llp
The Boc Group Inc.
LandOfFree
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