G - Physics – 02 – B
Patent
G - Physics
02
B
G02B 17/08 (2006.01) G02B 27/00 (2006.01) G03F 7/20 (2006.01)
Patent
CA 2215691
A small field scanning photolithography system (700) has a double pass Wynne- Dyson optical system (770) which provides an erect, non-reverted, unmagnified image. An optical path through the system passes from an object (722), reflects off an input reflector (731), passes through a first quadrant of a lens (740), reflects off a concave mirror (750), passes through a second quadrant of lens (740) into folding optics (732) where an intermediate image forms, passes from folding optics (732) through a third quadrant of lens (740), reflects off concave mirror (750) a second time, passes through a fourth quadrant of lens (740), and finally reflects off an output reflector (733) to a plane (160) where a final image (362) forms. Typically, input and output reflectors (731, 733) and the folding optics (732) are prisms. A field stop (760) may be provided in folding optics (732) where the intermediate image forms. Magnification adjusting optics (710, 720) can be added to input and output prisms (731, 733) or to folding optics (732). The magnification adjusting optics (710, 720) forms two narrow meniscus air gaps (713, 723) which are equal size for unity magnification. Narrowing one air gap (713 or 723) and widening the other air gap (723 or 713) changes magnification slightly.
Système photolithographique (700) à balayage à champ réduit comportant un système optique de Wynne-Dyson à double passe (770) fournissant une image non grossie non inversée et droite. Le trajet optique à travers le système passe à partir d'un objet (122), se réfléchit sur un réflecteur d'entrée (731), franchit un premier cadran de lentille (740), se réfléchit contre un miroir concave (750), franchit un deuxième cadran de lentille (740) en direction d'un dispositif optique repliable (732), où une image intermédiaire se forme, passe à partir du dispositif optique repliable (732) à travers un troisième cadran de lentille (740), se réfléchit contre un miroir concave (750) une deuxième fois, franchit un quatrième cadran de lentille (740), et finalement se réfléchit contre un réflecteur de sortie (733) en direction d'un plan (160) où l'image définitive se forme (362). En général, les réflecteurs d'entrée et de sortie (731, 733) ainsi que le dispositif optique repliable (732) sont des prismes. Un diaphragme de champ (760) peut être prévu dans le dispositif optique repliable (732) dans lequel l'image intermédiaire se forme. Un dispositif optique (710, 720) de réglage de grossissement peut être ajouté aux prismes d'entrée et de sortie (731, 733) ou au dispositif optique repliable (732). Le dispositif optique de réglage de grossissement (710, 720) constitue deux coussins d'air à ménisque étroit (713, 723) de dimensions égales pour un grossissement parfait. Le rétrécissement d'un coussin d'air (713 ou 723) et l'élargissement de l'autre coussin d'air (723 ou 713) modifient légèrement le grossissement.
Etec Systems Inc.
Smart & Biggar
LandOfFree
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