G - Physics – 01 – Q
Patent
G - Physics
01
Q
G01Q 60/06 (2010.01) G01B 7/34 (2006.01) G12B 21/06 (2006.01) G12B 21/08 (2006.01)
Patent
CA 2145018
A radiated light of a light source for optical characteristic measurement is amplitude modulated by an optical modulator and directed into a light-propagating probe. A phase and intermittent rate of the optical modulator are adjusted by a phase shifter. A sample characteristic measuring light is radiated onto the surface of the sample from the distal end of the probe. A light transmitted through or scattered by the sample, or fluorescent light generated from the sample is directed into a photoelectric converter via an optical system. To modify the light radiating area of sample characteristic measuring light to improve the resolution of a light characteristic image of the surface topography and optical characteristic of a sample at high resolution, without relying on the existence of transmissivity and conductivity in the sample.
Une lumière rayonnée, provenant d'une source lumineuse et servant à mesurer des caractéristiques optiques, est modulée en amplitude par un modulateur optique et dirigée dans une sonde de propagation de la lumière. Une phase et un débit intermittent du modulateur optique sont réglables au moyen d'un déphaseur. Une lumière de mesure des caractéristiques de l'échantillon est rayonnée sur la surface de l'échantillon à partir de l'extrémité distale de la sonde. Une lumière transmise à travers l'échantillon, ou dispersée par ce dernier, ou une lumière fluorescente produite par l'échantillon est dirigée dans un convertisseur photoélectrique par le biais d'un système optique. Il est ainsi possible de modifier l'aire de rayonnement lumineux de la lumière de mesure des caractéristiques de l'échantillon pour améliorer la résolution d'une image de caractéristique lumineuse de la topographie de surface et d'une caractéristique optique d'un échantillon visionné à haute résolution, sans se fier aux propriétés de transmissivité et de conductivité de l'échantillon.
Chiba Norio
Muramatsu Hiroshi
Borden Ladner Gervais Llp
Seiko Instruments Inc.
Sii Nano Technology Inc.
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1439996