G - Physics – 01 – Q
Patent
G - Physics
01
Q
G01Q 60/18 (2010.01) G01Q 30/10 (2010.01) G01Q 30/02 (2010.01)
Patent
CA 2229221
A scanning near-field optical microscope having an optical waveguide probe 1 provided with a microscopic aperture portion having a diameter less than a wavelength at its tip, a vibration application portion consisting of a piezoelectric vibrating body 2 and an AC voltage-generating portion 3, a vibration-detecting means consisting of a quartz oscillator 4 and a current/voltage amplifier circuit 5, a coarse displacement means 6 for bringing the optical waveguide probe close to a surface of a sample, an optical detection means consisting of lenses 7, 8 and a photodetector 9, a sample-to-probe distance control means consisting of a Z motion fine adjustment device 11 and a Z servo circuit 12, a two-dimensional scanning means consisting of an XY fine motion device 13 and an XY scanning circuit 14, and a data processing means 15 for converting a measurement signal into a three-dimensional image. The optical waveguide probe 1 is held to the quartz oscillator 4 by spring pressure applied by a resilient body 16.
Microscope optique à balayage en champ proche ayant un capteur à guide optique 1 ayant une ouverture microscopique d'un diamètre inférieur à une longueur d'onde à son extrémité, une partie d'application de vibration consistant en un corps vibratoire piézoélectrique 2 et en une partie génératrice de tension c.a. 3, un moyen de détection de vibration consistant en un oscillateur à quartz 4 et un circuit amplificateur de courant/tension 5, un moyen de déplacement grossier 6 pour amener le capteur à guide optique près de la surface d'un échantillon, un moyen de détection optique composé de lentilles 7, 8 et d'un photodétecteur 9, un moyen de commande de la distance échantillon-capteur composé d'un dispositif 11 de réglage fin de mouvement sur l'axe Z et d'un circuit 12 de servo-commande d'axe Z, un moyen de balayage bidimensionnel composé d'un dispositif 13 de réglage fin sur les axes X et Y et un circuit 14 de balayage sur les axes X et Y, et un moyen de traitement de données 15 pour convertir un signal de mesure en une image tridimensionnelle. Le capteur à guide optique 1 tient à l'oscillateur à quartz 4 par la pression d'un ressort appliquée au moyen d'un corps élastique 16.
Borden Ladner Gervais Llp
Seiko Instruments Inc.
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1539545