Scanning probe microscope

Details Scanning probe microscope Scanning probe microscope

G - Physics

01

Q

G01Q 10/00 (2010.01) G11B 9/14 (2006.01)

Patent

CA 2491404

A scanning probe microscope detects or induces changes in a probe-sample interaction. In imaging mode, the probe (54) is brought into a contact distance of the sample (12) and the strength of the interaction measured as the probe (54) and sample surface are scanned relative to each other. Image collection is rapidly performed by carrying out a relative translation of the sample (12) and probe (54) whilst one or other is oscillated at or near its resonant frequency. In a preferred embodiment the interaction is monitored by means of capacitance developed at an interface between a metallic probe and the sample. In lithographic mode, an atomic force microscope is adapted to write information to a sample surface.

L'invention concerne un microscope à sonde à balayage qui détecte ou induit des changements dans une interaction sonde-échantillon. Dans un mode imagerie, la sonde (54) est amenée à une distance de contact avec l'échantillon (12) et la force de l'interaction est mesurée lorsque la surface de la sonde (54) et la surface de l'échantillon sont balayées l'une par rapport à l'autre. La collection d'image est rapidement effectuée par la réalisation d'une translation relative de l'échantillon (12) et de la sonde (54) tandis que l'un ou l'autre oscille à, ou approximativement à, sa fréquence de résonance. Dans un mode de réalisation préféré, l'interaction est surveillée par une capacitance developpée au niveau d'une interface entre une sonde métallique et l'échantillon. Dans un mode lithographique, un microscope à forces atomiques est conçu pour écrire des informations une surface de l'échantillon.

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