H - Electricity – 01 – J
Patent
H - Electricity
01
J
H01J 3/02 (2006.01) H01J 29/48 (2006.01)
Patent
CA 2396164
A field emission cathode providing for dynamic adjustment of beam shape is disclosed. Beam shape adjustment is accomplished by segmenting the gate electrode (17) of a gated field emission cathode and independently driving the various gate segments to form the desired beam shape. Segments can be turned on and off as the beam is deflected allowing the dynamic correction of aberrations in the beam. A focus lens (32) can be placed on the gated cathode to produce a parallel electron beam. In addition, a hollow cathode can be produced to minimize space charge repulsion in a beam.
L'invention concerne une cathode à émission de champ permettant une mise en forme dynamique du faisceau. On réalise cette mise en forme du faisceau grâce à une segmentation de l'électrode (17) de grille d'une cathode à émission de champ comportant une grille et à une commande indépendante des différents segments de grille qui permettent de produire la forme de faisceau désirée. Les segments peuvent être activés et désactivés à mesure de la déviation du faisceau de manière à permettre une correction dynamique des aberrations du faisceau. Une lentille (32) de focalisation peut être placée sur la cathode à grille afin de produire un faisceau d'électrons parallèle. On peut en outre produire une cathode creuse de manière à réduire la répulsion de la charge d'espace dans le faisceau.
Jamison Keith D.
Patterson Donald E.
Extreme Devices Incorporated
Gowling Lafleur Henderson Llp
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1352120