G - Physics – 01 – N
Patent
G - Physics
01
N
G01N 27/00 (2006.01) B06B 1/06 (2006.01) B81B 3/00 (2006.01) G01N 29/02 (2006.01) G01N 29/036 (2006.01) H01L 41/113 (2006.01)
Patent
CA 2637930
A piezoelectric cantilever sensor includes a piezoelectric layer and a non- piezoelectric layer, a portion of which is attached to the piezoelectric layer. In one embodiment, one end of the non-piezoelectric layer extends beyond the end of piezoelectric layer to provide an overhang. The overhang piezoelectric cantilever sensor enables increased sensitivity allowing application of the device in more viscous environments, such as liquid media, as well as application in liquid media at higher flow rates than conventional piezoelectric cantilevers. In another embodiment, the sensor includes first and second bases and at least one of the piezoelectric layer and the non- piezoelectric layer is affixed to each of the first and second bases to form the piezoelectric cantilever sensor. In this embodiment, the sensor is robust and exhibits excellent sensing characteristics in both gaseous and liquid media, even when subjected to relatively high flow rates.
La présente invention concerne un capteur en porte-à-faux piézoélectrique comprenant une couche piézoélectrique et une couche non piézoélectrique, une partie de cette dernière étant fixée à la couche piézoélectrique. Dans un mode de réalisation, une extrémité de la couche non piézoélectrique dépasse l~extrémité de la couche piézoélectrique pour ménager un porte-à-faux. Le capteur en porte-à-faux piézoélectrique offre une meilleure sensibilité permettant son emploi dans des environnements plus visqueux, tels qu~un milieu liquide, et un emploi dans un milieu liquide à débit supérieur par rapport à un dispositif classique. Dans un autre mode de réalisation, le capteur comprend une première et une seconde base, la couche piézoélectrique et/ou la couche non piézoélectrique étant apposées sur chaque base pour former le capteur en porte-à-faux piézoélectrique. Dans ce mode de réalisation, le capteur s~avère solide et présente d~excellentes caractéristiques de détection dans des milieux liquides et gazeux, même s~il est soumis à des débits relativement élevés.
Campbell Gossett
Maraldo David
Mutharasan Rajakkannu
Rijal Kishan
Borden Ladner Gervais Llp
Drexel University
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1427488