Self-exciting, self-sensing piezoelectric cantilever sensor...

G - Physics – 01 – N

Patent

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Details

G01N 27/00 (2006.01) B06B 1/06 (2006.01) B81B 3/00 (2006.01) G01N 29/02 (2006.01) G01N 29/036 (2006.01) H01L 41/113 (2006.01)

Patent

CA 2651840

A method for detection of airborne biological agent using a piezoelectric cantilever sensor that includes a piezoelectric layer and a non-piezoelectric layer. A recognition entity is placed on one or both of the two layers. The antibody that recognizes and binds to the airborne species may be chemically immobilized on the cantilever sensor surface. In one embodiment, the cantilever sensor is attached to a base at only one end. In another embodiment, the sensor includes first and second bases and at least one of the piezoelectric layer and the non-piezoelectric layer is affixed to each of the first and second bases to form a piezoelectric cantilever beam sensor. In this embodiment, resonance is measured via stress on the piezoelectric layer and it has been demonstrated that such sensors are robust and exhibit excellent sensing characteristics in gaseous media with sufficient sensitivity to detect airborne species at relatively low concentrations.

L'invention concerne un procédé de détection d'agent biologique en suspension dans l'air, utilisant un capteur en porte-à-faux piézoélectrique qui comprend une couche piézoélectrique et une couche non piézoélectrique. Une entité de reconnaissance est placée sur l'une ou sur les deux couches. L'anticorps qui reconnaît les espèces en suspension dans l'air et se lie à elles peut être chimiquement immobilisé sur la surface du capteur en porte-à-faux. Dans un mode de réalisation, le capteur en porte-à-faux est fixé à une base à seulement une extrémité. Dans un autre mode de réalisation, le capteur comprend des première et seconde bases et au moins l'une de la couche piézoélectrique et de la couche non piézoélectrique est attachée à chacune des première et seconde bases pour former un capteur de faisceau en porte-à-faux piézoélectrique. Dans ce mode de réalisation, une résonance est mesurée par l'intermédiaire d'une contrainte sur la couche piézoélectrique et il a été démontré que de tels capteurs sont robustes et présentent d'excellentes caractéristiques de détection dans des milieux gazeux avec une sensibilité suffisante pour détecter des espèces en suspension dans l'air à des concentrations relativement faibles.

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