Sensor device for detection of dissolved hydrocarbon gases...

G - Physics – 01 – N

Patent

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G01N 27/414 (2006.01) G01N 33/28 (2006.01)

Patent

CA 2452891

A multi-gas sensor device (10) for the detection of dissolved hydrocarbon gases in oil-filled electrical equipment. The device (10) comprising a semiconductor substrate (14), one or more catalytic metal gate-electrodes (16) deposited on the surface of the semiconductor substrate (14) operable for sensing various gases, and an ohmic contact (22) deposited on the surface of the semiconductor substrate (14). The semiconductor substrate (14) comprises one of GaN, SiC, A1N, InN, AlGaN, InGaN and AlInGaN. A method for sensing gas in an oil-filled reservoir of electrical equipment, comprising providing a sensor device (10), immersing the sensor device (10) in the oil- filled reservoir, allowing the gases emitted from the oil to interact with the one or more catalytic metal gate-electrodes (16), altering the gas as it contacts the catalytic metal gate-electrodes (16) and altering the sensitivity of the sensor.

Un dispositif de détection multi-gaz (10) servant à la détection de gaz d'hydrocarbures dissous dans l'équipement électrique à bain d'huile. Le dispositif (10) comprend un substrat de semi- conducteur (14), une ou plusieurs électrodes gâchettes métalliques (catalytiques) (16) déposées sur la surface du substrat de semi-conducteur (14) et fonctionnant de manière à détecter différents gaz, ainsi qu'un contact ohmique (22) déposé sur la surface du substrat de semi-conducteur (14). Le substrat de semi-conducteur (14) comprend un des éléments GaN, SiC, A1N, InN, AlGaN, InGaN et AlInGaN. Une méthode de détection de gaz dans un réservoir d'huile d'équipement électrique comprend la fourniture d'un dispositif de détection (10), l'immersion du dispositif de détection (10) dans le réservoir d'huile, le temps d'interaction des gaz émis par l'huile avec l'une ou plusieurs des électrodes gâchettes métalliques (16), la modification du gaz en contact avec les électrodes gâchettes métalliques (16) et la modification de la sensibilité du détecteur.

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