C - Chemistry – Metallurgy – 01 – B
Patent
C - Chemistry, Metallurgy
01
B
C01B 33/035 (2006.01) H01L 21/00 (2006.01)
Patent
CA 2489718
A reaction apparatus for producing silicon has a reaction container that forms space surrounded by a vertically extending wall and heating means capable of heating at least part of a surface of the wall including the lower part of the wall that faces the space to a temperature higher than the melting point of silicon. Raw material gas for silicon separation is circulated from the upper part to the lower part of the space of the reaction container. Because the space of the reaction container has a slit shape as seen in a transverse cross- section, reduction in raw material gas reaction rate and forming of a by- product are improved, and productivity is improved remarkably.
La présente invention concerne un appareil de réaction permettant la production de silicium. Cet appareil comporte un contenant de réaction qui forme un espace entouré par une paroi à extension verticale et un moyen de chauffage pouvant chauffer au moins une partie d'une surface de la paroi, notamment la partie inférieure de ladite paroi qui est tournée vers ledit espace, et ce à une température supérieure au point de fusion du silicium. La matière première gazeuse pour la séparation du silicium est amenée à circuler de la partie supérieure vers la partie inférieure de l'espace du contenant de réaction. Du fait que l'espace du contenant de réaction possède une forme de fente suivant une vue en coupe transversale, il est possible d'améliorer la réduction de la vitesse de réaction de la matière première gazeuse ainsi que la formation d'un sous-produit, la productivité étant ainsi remarquablement améliorée.
Nakamura Yasuo
Wakamatsu Satoru
Macrae & Co.
Tokuyama Corporation
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1630093