Solid state gas sensors based on tunnel junction geometry

G - Physics – 01 – N

Patent

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Details

G01N 27/00 (2006.01) C23F 1/02 (2006.01) G01N 27/44 (2006.01)

Patent

CA 2526087

A gas detector utilizing tunnel junction geometry is disclosed. The gas detector comprises a first electrically conductive material layer, an electrically nonconductive material layer disposed on the first electrically conductive material layer, a second electrically conductive material layer disposed on the electrically nonconductive material layer, a gas source (34) in fluid communication with the second electrically conductive material layer; and a power source in electrical communication with the first and second electrically conductive material layers. A method of detecting a gas utilizing the detector of the present invention is also disclosed. A method of making a gas detector is likewise disclosed.

L'invention concerne un détecteur de gaz utilisant une géométrie de jonction à effet tunnel. Ce détecteur de gaz comprend une première couche de matériau électriquement conducteur, une couche de matériau électriquement non conducteur disposée sur la première couche de matériau électriquement conducteur, une deuxième couche de matériau électriquement conducteur disposée sur la couche de matériau électriquement non conducteur, une source de gaz (34) en communication fluidique avec la deuxième couche de matériau électriquement conducteur ; et une source d'alimentation en communication électrique avec le première et la deuxième couche de matériau électriquement conducteur. L'invention porte aussi sur un procédé de détection d'un gaz utilisant le détecteur susmentionné, ainsi que sur un procédé de fabrication d'un détecteur de gaz.

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