H - Electricity – 01 – J
Patent
H - Electricity
01
J
H01J 49/26 (2006.01)
Patent
CA 2181801
A solid state mass spectrograph includes an inlet, a gas ionizer, a mass filter and a detector array all formed within a cavity in a semiconductor substrate. The gas ionizer can be a solid state electron emitter with ion optics provided by electrodes formed on apertured partitions in the cavity forming compartments through which the cavity is evacuated by differential pumping. The mass filter is preferably a Wien filter with the magnetic field provided by a permanent magnet outside the substrate or by magnetic film on the cavity walls. The electric field of the Wien filter is provided by electrodes formed on walls of the cavity. The detector array is a linear array oriented in the dispersion plane of the mass filter and includes converging electrodes at the end of the cavity serving as Faraday cages which pass charge to signal generators such as charge coupled devices formed in the substrate but removed from the cavity.
Un spectrographe de masse à semiconducteurs comporte une entrée, un dispositif d'ionisation de gaz, un filtre de masse ainsi qu'un réseau de détecteurs, l'ensemble se trouvant à l'intérieur d'une cavité dans un substrat à semiconducteurs. Le dispositif d'ionisation de gaz peut être un émetteur d'électrons à semiconducteurs, pourvu d'un dispositif optique à ions, réalisé au moyen d'électrodes installées sur des cloisons à ouvertures dans la cavité, formant des compartiments par lesquels le vide est fait au moyen d'une pompe différentielle. Le filtre de masse est, de préférence, un filtre de Wien dont le champ magnétique est produit par un aimant permanent se trouvant en dehors du substrat ou par un film magnétique placé sur les parois de la cavité. Le réseau de détecteurs, qui est un réseau linéaire orienté dans le plan de dispersion du filtre de masse, comporte des électrodes convergeant à l'extrémité de la cavité faisant office de cages de Faraday par lesquelles passe une charge destinée aux générateurs de signaux tels que des dispositifs à couplage de charge formés dans le substrat mais extérieurs à la cavité.
Friedhoff Carl B.
Sriram Saptharishi
Young Robert M.
Northrop Grumman Corporation
Swabey Ogilvy Renault
LandOfFree
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