G - Physics – 01 – J
Patent
G - Physics
01
J
G01J 1/20 (2006.01) G01B 11/02 (2006.01) G06K 9/36 (2006.01)
Patent
CA 2645670
Devices systems, and methods can characterize an optical surface of an object. A wavefront sensor system focuses light energy propagating from the object to form a pattern on a detector. The system maps the pattern to an array with a transform function such as a Fourier transform. The values of array correspond to characteristic locations and signals in a transform space, for example an intensity of spatial frequency signals in frequency space. The characteristic location and intensity of these signals in transform space are used to measure the optical surface. For example, a characteristic frequency of a spatial frequency intensity peak in Fourier transform space can be used to estimate the location of spots on the detector. Alternatively, the characteristics can be used to the measure sphere, cylinder and axis of a wavefront, wavefront elevation maps and point spread functions, often without locating positions of individual spots on the detector.
La présente invention concerne des dispositifs, des systèmes, et des procédés pouvant caractériser une surface optique d'un objet. Un système de capteur de front d'onde focalise de l'énergie lumineuse se propageant depuis l'objet pour former un motif sur un détecteur. Le système établit la cartographie du motif vers un réseau avec une fonction de transformation telle qu'une transformée de Fourier. Les valeurs de réseau correspondent aux emplacements et aux signaux caractéristiques dans un espace de transformation, par exemple une intensité de signaux de fréquence spatiale dans l'espace fréquentiel. L'emplacement caractéristique et l'intensité de ces signaux dans l'espace de transformation sont utilisés pour mesurer la surface optique. Par exemple, une fréquence caractéristique d'un pic d'intensité de fréquence spatiale dans l'espace de transformation de Fourier peut être utilisée pour la localisation de spots sur le détecteur. En variante, les caractéristiques peuvent être utilisées pour la mesurer la sphère, le cylindre et l'axe d'un font d'onde, des cartes d'élévation de front d'onde et des fonctions d'étalement de point, souvent sans localiser des spots individuels sur le détecteur.
Campbell Charles
Gross Erik
Amo Manufacturing Usa Llc
Smart & Biggar
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1919754