Step scanning technique for interferometer

Details Step scanning technique for interferometer Step scanning technique for interferometer

G - Physics

05

D

G05D 3/12 (2006.01) G01B 9/02 (2006.01) G01J 3/453 (2006.01) G05B 19/39 (2006.01)

Patent

CA 2109510

A fast and effective way to step a relative position quantity by a reference interval. Each step in relative position includes open-loop and closed-loop control intervals. An actuator (27) capable of changing the relative position and a closed loop servo (17) that acts on the actuator (27) to keep the relative position centered on the nearest of a series of reference values. The servo (17) has locked the relative position to a particular initial reference value. First, the actuator (27) is caused to change the relative position by an amount approximately equal to the reference interval in a manner that the servo (17) cannot track the change, such as by disabling the servo (17). Servo control is then reestablished, at which point the servo (17) operates to keep the relative position centered on the nearest reference value.

Méthode rapide et efficace de détermination quantitative par étapes d'une position relative à l'aide d'un intervalle de référence. Chaque étape de la position relative comporte des intervalles de commande à boucle ouverte et à boucle fermée. Sont décrits un actuateur (27) capable de modifier la position relative et une servocommande (17) à boucle fermée qui agit sur l'actuateur (27) de manière à garder la position relative centrée sur la valeur la plus proche d'une série de valeurs de référence. La servocommande (17) verrouille la position par rapport à une valeur de référence initiale donnée. On fait tout d'abord en sorte que l'actuateur (27) modifie la position relative d'une quantité à peu prés égale à l'intervalle de référence de façon que la servocommande (17) ne puisse détecter le changement, par exemple en désactivant la servocommande (17). La servocommande est alors réactivée, ce qui lui permet alors de garder la position relative centrée sur la valeur de référence la plus proche.

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