Stressed thin-film membrane islands

B - Operations – Transporting – 01 – D

Patent

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Details

B01D 71/02 (2006.01) B01D 69/10 (2006.01) C01B 3/50 (2006.01) H01M 8/12 (2006.01)

Patent

CA 2539539

A structure including a support defining an opening, and a tensilely stressed thin-film membrane disposed to occlude the opening, the membrane contacting at least a portion of the support. The stressed membrane includes a material having a characteristic crack spacing greater than one-half of a minimum dimension of the membrane and less than ten times the minimum dimension. A structure including a support defining a opening having a minimum opening dimension, and a compressively stressed thin-film membrane disposed to occlude the opening, the membrane contacting at least a portion of the support. The stressed membrane includes a membrane material having a critical aspect ratio for buckling that is greater than a ratio of one-half of the minimum opening dimension to a thickness of the membrane, and the critical aspect ratio for buckling is less than a ratio of ten times the minimum opening dimension to the thickness of the membrane.

L'invention concerne une structure qui comprend un support définissant une ouverture, et une membrane à couche mince soumise à une contrainte de traction, disposée de manière à fermer l'ouverture, la membrane entrant en contact avec au moins une partie du support. La membrane ainsi contrainte comprend un matériau présentant un espacement caractéristique des fissures qui est supérieur à la moitié de la dimension minimale de la membrane, et inférieur à sa dimension minimale multipliée par dix. L'invention concerne également une structure qui comprend un support définissant une ouverture présentant une dimension minimale, et une membrane soumise à une contrainte compressive, disposée de manière à fermer l'ouverture, la membrane entrant en contact avec une partie au moins du support. La membrane contrainte comprend un matériau présentant un rapport largeur/longueur critique de flambage qui est supérieur au rapport entre la moitié de la dimension d'ouverture minimale et l'épaisseur de la membrane, et le rapport largeur/longueur critique de flambage est inférieur au rapport entre la dimension d'ouverture minimale multipliée par dix et l'épaisseur de la membrane.

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