H - Electricity – 01 – J
Patent
H - Electricity
01
J
H01J 9/12 (2006.01) H01J 1/30 (2006.01) H01J 9/02 (2006.01)
Patent
CA 2085982
The present invention relates generally to new structures for a field emission cathode and processes for fabricating the same. The field emission is made of any material that is capable of emitting electrons under the influence of an electrical potential. A process for making one embodiment of the invention includes the steps of forming a hole (15) in a substrate (5), depositing a first material (20) in said hole to form a cusp (21), depositing an electron emitting material (30) to fill at least partly said cusp and removing the first material to expose a portion (31) of the electron emitting material. The field emission cathode has several unique three dimensional structures. The basic structure comprises a layer of material with cathode tips. For a more complex structure the cathode tip is preferably accurately aligned inside an extraction/control electrode structure, in preferably a vacuum environment. The structures of this invention can be fabricated to be connected to other similar field emission cathodes or to other electronic devices.
L'invention concerne globalement de nouvelles structures pour une cathode à émission de champ et des procédés de fabrication de cette dernière. La cathode d'émission de champ est effectuée avec n'importe quel matériau capable d'émettre des électrons sous l'influence d'un potentiel électrique. Un procédé de fabrication d'une version de l'invention, comprend les étapes suivantes: la formation d'un trou (15) dans un substrat (5), le dépôt d'un premier matériau (20) dans ledit trou pour obtenir une configuration cuspidée (21), le dépôt d'un matériau (30) émetteur d'électrons pour remplir au moins partiellement ladite configuration cuspidée, et l'élimination du premier matériau pour mettre à nu une partie (31) du matériau émetteur d'électrons. La cathode à émission de champ possède plusieurs structures spécifiques tridimensionnelles. La structure de base comprend une couche de matériau ayant des pointes cathodiques. Pour fabriquer une structure plus complexe, la pointe de la cathode est, de préférence, alignée avec précision à l'intérieur d'une structure d'électrode d'extraction et de commande, de préférence dans un environnement sous vide. Les structures de cette invention peuvent être fabriquées pour être connectées à d'autres cathodes à émission de champ similaires ou à d'autres dispositifs électroniques.
Zimmerman Stephen Michael
International Business Machines Corporation
Saunders Raymond H.
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-2063584