Surface acoustic wave element and equipment for measuring...

H - Electricity – 03 – H

Patent

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Details

H03H 9/25 (2006.01) G01N 29/00 (2006.01) G01N 29/02 (2006.01)

Patent

CA 2706059

A surface acoustic wave element and equipment for measuring the physical characteristics of a liquid material without causing short-circuit of an input electrode and an output electrode even if the element or the equipment is immersed into the liquid material of measurement object. The first surface acoustic wave element (10) has input electrodes (12, 22) surrounded by a sealing member (30a) having a circumferential wall (32a) formed on a piezoelectric substrate (54), and a top plate (34a) covering the circumferential wall (32a), and a sealing reinforcement (40a) is formed on the piezoelectric substrate (54) in parallel with a wall (42a) to face a material (52), which is to be measured and loaded on the piezoelectric substrate (54). The output electrodes (14, 24) are surrounded by a sealing member (30b) having a circumferential wall (32b) formed of photosensitive resin on the piezoelectric substrate (54), and a top plate (34b) covering the circumferential wall (32b), and a sealing reinforcement (40b) is formed on the piezoelectric substrate (54) in parallel with a wall (42b) to face the material (52), which is to be measured and loaded on the piezoelectric substrate (54).

L'invention porte sur un élément à ondes acoustiques de surface et sur un équipement pour mesurer les caractéristiques physiques d'un matériau liquide sans provoquer un court-circuit d'une électrode d'entrée et d'une électrode de sortie même si l'élément ou l'équipement est immergé dans le matériau liquide objet de mesure. Le premier élément à ondes acoustiques de surface (10) a des électrodes d'entrée (12, 22) entourées par un élément d'étanchéité (30a) ayant une paroi périphérique (32a) formé sur un substrat piézoélectrique (54), et une plaque supérieure (34a) couvrant la paroi périphérique (32a), et un renforcement d'étanchéité (40a) est formé sur le substrat piézoélectrique (54) en parallèle avec une paroi (42a) pour faire face à un matériau (52),qui doit être mesuré et chargé sur le substrat piézoélectrique (54). Les électrodes de sortie (14, 24) sont entourées par un élément d'étanchéité (30b) ayant une paroi périphérique (32b) formé de résine photosensible sur le substrat piézoélectrique (54), et une plaque supérieure (34b) couvrant la paroi périphérique (32b), et un renforcement d'étanchéité (40b) est formé sur le substrat piézoélectrique (54) en parallèle avec une paroi (42b) pour faire face au matériau (52), qui doit être mesuré et chargé sur le substrat piézoélectrique (54).

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