H - Electricity – 01 – L
Patent
H - Electricity
01
L
H01L 21/31 (2006.01) B23K 26/06 (2006.01) H01L 21/00 (2006.01) H01L 21/20 (2006.01) H01L 21/26 (2006.01) H01L 21/302 (2006.01) H01L 21/38 (2006.01)
Patent
CA 2374498
Systems and methods for reducing a surface roughness of a polycrystalline or single crystal thin film produced by the sequential lateral solidification process are disclosed. In one arrangement, the system includes an excimer laser (110) for generating a plurality of excimer laser pulses of a predetermined fluence, an energy density modulator (120) for controllably modulating the fluence of the excimer laser pulses such that the fluence is below that which is required to completely melt the thin film, a beam homoginizer (144) for homoginizing modulated laser pulses in a predetermined plane, a sample stage (170) for receiving homoginized laser pulses to effect melting of portions of the polycrystalline or single crystal thin film corresponding to the laser pulses, translating means for controllably translating a relative position of the sample stage (170) with respect to the laser pulses, and a computer (110) for coordinating the excimer pulse generation and fluence modulation with the relative positions of the sample stage (170) to thereby process the polycrystalline or single crystal thin film by sequential translation of the sample stage (170) relative to the laser pulses.
L'invention concerne des systèmes et procédés de réduction de la rugosité d'une couche mince mono- ou polycristalline produite par le procédé de solidification latérale séquentielle. Dans un mode de réalisation, le système comprend un laser à excimères (110) destiné à produire plusieurs impulsions laser de fluence déterminée, un modulateur de densité d'énergie (120), destiné à réguler la fluence modulante des impulsion du laser à excimères, de façon que cette fluence se situe en dessous de celle requise pour faire totalement fondre la couche mince, un homogénéiseur de faisceau (144) destiné à homogénéiser les impulsions laser modulées dans un plan déterminé, un support d'échantillon (170) destiné à recevoir les impulsions laser homogénéisées de manière à exécuter la fusion de portions de la couche mince mono- ou polycristalline correspondant aux impulsions laser, des moyens de translation destinés à déplacer de manière régulée une position relative du support d'échantillon (170) par rapport aux impulsions laser, ainsi qu'un ordinateur (110) servant à coordonner la production d'impulsions laser avec la modulation de fluence, par rapport aux positions correspondantes du support d'échantillon (170), de manière à traiter la couche mince mono- ou polycristalline, par translation séquentielle du support d'échantillon (170) par rapport aux impulsions laser.
Crowder Mark A.
Im James S.
Sposili Robert S.
Smart & Biggar
The Trustees Of Columbia University
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-2025060