Susceptor

Details Susceptor Susceptor

H - Electricity

01

L

H01L 21/205 (2006.01) C23C 16/458 (2006.01) H01L 21/68 (2006.01)

Patent

CA 2558591

A susceptor used for semiconductor epitaxial growth, by which a plurality of highly uniform epitaxially grown films can be obtained at the same time. The susceptor is used for semiconductor epitaxial growth, and is composed of a barrel-type susceptor, which has a plurality of planes whereupon a plurality of substrates can be freely placed on the external side, and a member, which has the barrel-type susceptor inside and has planes arranged to face each of the planes of the barrel-type susceptor by inclining in the same direction. Alternatively, the susceptor is composed of a barrel-type susceptor, which has a plurality of planes whereupon a plurality of substrates can be freely placed on the inner side, and a member, which has the barrel-type susceptor on the outer circumference part and has planes arranged to face each of the planes of the barrel-type susceptor by inclining in the same direction.

Il est prévu un suscepteur servant à la croissance épitaxiale d~un semi-conducteur, permettant d~obtenir une pluralité de films de croissance épitaxiale extrêmement uniformes dans le même temps. Le suscepteur sert à la croissance épitaxiale d~un semi-conducteur, et se compose d~un suscepteur de type barillet, ayant une pluralité de plans sur lesquels on peut disposer librement une pluralité de substrats sur le côté externe, et d~un élément, dont le suscepteur de type barillet est à l~intérieur et possède des plans faisant face à chaque plan du suscepteur de type barillet en s~inclinant dans la même direction. Une autre solution consiste à ce que le suscepteur se compose d~un suscepteur de type barillet, ayant une pluralité de plans sur lesquels on peut disposer librement une pluralité de substrats sur le côté interne, et d~un élément, dont le suscepteur de type barillet est situé sur la partie circonférentielle externe et possède des plans faisant face aux différents plans du suscepteur de type barillet en s~inclinant dans la même direction.

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