G - Physics – 01 – L
Patent
G - Physics
01
L
G01L 9/04 (2006.01)
Patent
CA 2695489
An accurate and low cost macro pressure sensor is described. The pressure sensor includes an array of capacitive sensing elements formed at the intersections of sets of conductors. A lower set of conductors is supported by a substrate and an upper set of conductors is supported on a flexible polymer membrane. Capacitive sensing elements are formed where a conductor in the upper set overlaps a spacer in the lower set. Separators hold the membrane away from the substrate with a separation that, because of deflection of the membrane, varies in relation to the pressure applied to the membrane. As a result, the separation of conductors, and therefore capacitance, in each cell varies in response to the applied pressure. By attaching the membrane to the separators and optionally using slits in the membrane between capacitive sensing elements, measurements made in each capacitive sensing element can be mechanically decoupled.
La présente invention concerne un macrocapteur de pression précis et bon marché. Le capteur de pression comprend une matrice d'éléments de détection capacitifs formés aux intersections d'ensembles de conducteurs. Un ensemble inférieur de conducteurs est supporté par un substrat et un ensemble supérieur de conducteurs est supporté par une membrane en polymère flexible. Les éléments de détection capacitifs sont formés à l'endroit où un conducteur dans l'ensemble supérieur chevauche une entretoise dans l'ensemble inférieur. Les séparateurs maintiennent la membrane à distance du substrat avec une séparation qui, du fait de la déviation de la membrane, varie en fonction de la pression appliquée à la membrane. La séparation des conducteurs, et donc de la capacitance, dans chaque cellule, varie donc en fonction de la pression appliquée. En fixant la membrane aux séparateurs et en utilisant, en option, des fentes dans la membrane entre les éléments de détection capacitifs, les mesures prises dans chaque élément de détection capacitif peuvent être mécaniquement découplées.
Cao Chi
Parks Thomas R.
Ogilvy Renault Llp/s.e.n.c.r.l.,s.r.l.
Sierra Scientific Instruments Inc.
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1795785