H - Electricity – 01 – L
Patent
H - Electricity
01
L
H01L 21/302 (2006.01) C12M 1/00 (2006.01) G01N 15/06 (2006.01)
Patent
CA 2593581
Some embodiments of the disclosed surface patterning systems and methods utilize a surface patterning tool coupled to a support and adapted to deposit material onto a substrate, a controller, and first, second, and third actuators electrically coupled to and controlled by the controller. In some embodiments, the first, second, and third actuators are operable to move the substrate in X, Y, and Z directions, respectively, with respect to the surface patterning tool, wherein the substrate is movable by the first, second, and third actuators to different positions with respect to the surface patterning tool, and wherein material is transferable from the surface patterning tool to the substrate in each of the different positions to define the desired surface pattern. One or more of the actuators in some of the disclosed embodiments are piezoelectric actuators.
Dans certains modes de réalisation, les systèmes et procédés de formation de motifs selon l'invention font appel à un outil de formation de motifs de surface couplé à un support et conçu pour déposer un matériau sur un substrat, à un dispositif de commande, ainsi qu'à des premier, deuxième et troisième actionneurs couplés électriquement au dispositif de commande et commandés par ce dernier. Dans certains modes de réalisation, les premier, deuxième et troisième actionneurs peuvent servir à déplacer le substrat dans des directions X, Y et Z, respectivement, par rapport à l'outil de formation de motifs de surface, le substrat pouvant être déplacé par les premier, deuxième et troisième actionneurs vers différentes positions par rapport à l'outil de formation de motifs de surface, le matériau pouvant être transféré de l'outil de formation de motif de surface vers le substrat dans chacune des différentes positions afin de définir le motif de surface souhaité. Dans certains modes de réalisation, un ou plusieurs des actionneurs sont des actionneurs piézoélectriques.
Henderson Eric R.
Mosher Curtis L.
Bioforce Nanosciences Inc.
Finlayson & Singlehurst
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1713444