B - Operations – Transporting – 01 – D
Patent
B - Operations, Transporting
01
D
B01D 53/00 (2006.01) B01D 53/22 (2006.01) G01N 30/00 (2006.01) H01L 21/00 (2006.01)
Patent
CA 2461153
A preferred embodiment includes a method for monitoring the performance of a filter positioned in an airstream in a semiconductor processing system. The method includes sampling the airstream at a location upstream of the filter to detect the molecular contaminants present in the airstream; identifying a target species of the contaminants upstream; selecting a non-polluting species of a contaminant having a concentration greater than a concentration of the target species; measuring the non-polluting species in the airstream at a plurality of locations; and determining the performance of the filter with respect to the target species from measurements of the non-polluting species. The plurality of locations includes a location downstream of the filter and at a location within the filter. Further, the method.for monitoring includes generating a numerical representation of a chromatogram of the airstream sampled at a location upstream of the filter. The method for monitoring includes the non-polluting species having a molecular weight that is lower than that of the target species. In addition, in the method for monitoring the step of sampling includes collecting refractory compounds, high molecular weight compounds and low molecular weight compounds. The filter comprises absorptive material.
Dans un mode de réalisation préféré, la présente invention concerne un procédé de contrôle de l'efficacité d'un filtre placé dans un courant d'air à l'intérieur d'un système de traitement de semi-conducteurs. Ledit procédé comprend les étapes consistant : à échantillonner le courant d'air à un endroit en amont du filtre, afin de détecter la présence de contaminants moléculaires dans le courant d'air; à identifier une espèce cible parmi les contaminants en amont ; à sélectionner une espèce non polluante de contaminant dont la concentration est supérieure à celle de l'espèce cible ; à effectuer des mesures de l'espèce non polluante dans le courant d'air à une pluralité d'endroits ; et à déterminer l'efficacité du filtre par rapport à l'espèce cible à partir des mesures effectuées de l'espèce non polluante. La pluralité d'endroits comprend un endroit en amont du filtre et un endroit à l'intérieur du filtre. De plus, le procédé de contrôle consiste à générer une représentation numérique d'un chromatogramme du courant d'air échantillonné à un endroit en amont du filtre. Le procédé de contrôle s'effectue avec des espèces non polluantes possédant une masse moléculaire inférieure à celle de l'espèce cible. De plus, dans ledit procédé, l'étape d'échantillonnage consiste à recueillir des composés réfractaires, des composés à haute masse moléculaire et des composés à basse masse moléculaire. Le filtre contient une matière absorbante.
Goodwin William M.
Kinkead Devon
Kishkovich Oleg P.
Phelps Mark C.
Borden Ladner Gervais Llp
Entegris Inc.
Extraction Systems Inc.
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-2026600