G - Physics – 01 – B
Patent
G - Physics
01
B
G01B 21/08 (2006.01) G01B 11/16 (2006.01) G01D 1/02 (2006.01) G01N 3/00 (2006.01) G01N 3/10 (2006.01) G01N 3/12 (2006.01) G01N 19/04 (2006.01) G01N 29/00 (2006.01)
Patent
CA 2308799
A system and corresponding method for bulge testing films (e.g. thin films (57), coatings, layers, etc.) is provided, as well as membrane structures (47) for use in bulge testing and improved methods of manufacturing same so that resulting membrane structures have substantially identical known geometric and responsive characteristics. Arrayed membrane structures, and corresponding methods, are provided in certain embodiments which enable bulge testing of a film(s) over a relatively large surface area via a plurality of different freestanding membrane portions. Improved measurements of film bulging or deflection are obtained by measuring deflection of a center point of a film, relative to nondeflected peripheral points on the film being tested. Furthermore, membrane structures are adhered to mounting structure in an improved manner, and opaque coatings may be applied over top of film(s) to be bulge tested so that a corresponding optical transducer (49) can more easily detect film deflection/bulging. In certain embodiments, a laser triangulation transducer is utilized to measure film deflection/bulging.
L'invention concerne un système de test de bombement sur des films (tels que des films minces, revêtements, couches) et le procédé correspondant. L'invention concerne également des structures membranaires permettant de tester le bombement ainsi que des procédés améliorés de fabrication desdites structures de manière que les structures membranaires obtenues présentent des caractéristiques géométriques et réactives connues sensiblement identiques. Certains modes de réalisation concernent également des structures membranaires matricées ainsi que les procédés correspondants, et permettent de tester le bombement d'un ou plusieurs films sur une surface relativement étendue au moyen de différentes portions discrètes de membrane. Pour obtenir des mesures améliorées de bombement ou de déflexion d'un film, on mesure la déflexion du point central d'un film, par rapport à des points périphériques non défléchis du film testé. En outre, on colle les structures membranaires à une structure de montage d'une façon améliorée, et on peut appliquer des revêtements opaques sur la surface des films dont le bombement doit être testé de manière qu'un transducteur optique correspondant puisse détecter une déflexion ou un bombement du film. Dans certains modes de réalisation, on utilise un transducteur à triangulation laser pour mesurer la déflexion ou le bombement du film.
Brown Stuart B.
Correia Paulo Jorge Furtado
Lynch Kevin R.
Mlcak Richard
Muhlstein Christopher L.
Exponent Inc.
Ridout & Maybee Llp
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1890645