B - Operations – Transporting – 08 – B
Patent
B - Operations, Transporting
08
B
B08B 3/02 (2006.01) B24C 1/00 (2006.01) B24C 3/32 (2006.01) B24C 7/00 (2006.01) H05K 3/26 (2006.01)
Patent
CA 2077463
A system and method for precision cleaning of contaminants from the surface of a substrate, such as delicate surfaces or precision parts, utilizing streams of carbon dioxide snow or other cleaning gas. The system includes an enclosed or sealed cleaning container in which at least one jet spray device is housed for directing a stream of cleaning snow against the surface to be cleaned. During cleaning, the cleaning container holding the substrate to be cleaned is maintained under a vacuum or, optionally, at ambient pressure, filled with a clean dry gas. The dislodged contaminants and spent snow are removed from the cleaning zone and disposed of or recycled. Cleaning is accomplished by pulsed application of the cleaning snow in combination with intermittent or continuous heating of the surface so that the surface is at an elevated temperature prior to and during each application of cleaning snow. The jet spray devices which are utilized in the system are oriented so that the cleaning snow streams contact planar surfaces at grazing angles of 5 to 45 degrees. When non-planar parts are being cleaned, the jet spray devices are adjusted to provide an angle of about 45 to 90 degrees. Monitoring of the cleanliness of the parts is accomplished during the cleaning process, by a light scatter method or by a particle monitor and residual gas analysis of the exhaust gas or other analysis of the exhaust gas. The system is particularly useful in removing contaminants from the delicate surfaces or precision parts which are utilized in precision optical and electronic devices.
Système et méthode pour le nettoyage de précision visant à éliminer les contaminants de la surface d'un substrat, notamment de surfaces fragiles ou de pièces de précision, à l'aide d'un flux de neige carbonique ou d'un autre gaz nettoyant. Le système comprend un contenant de nettoyage fermé ou scellé, dans lequel est logé au moins un dispositif pour jet à pulvérisation permettant de diriger un flux de neige nettoyant sur la surface à nettoyer. Pendant le nettoyage, le contenant de nettoyage, renfermant le substrat à nettoyer et une charge de gaz anhydre propre, est maintenu sous vide ou, facultativement, à la pression ambiante,. Les contaminants enlevés et la neige usée sont évacués de la zone de nettoyage et éliminés ou recyclés. Le nettoyage est effectué par application pulsée de la neige nettoyante, combinée au chauffage intermittent ou continu de la surface, de telle façon que ladite surface ait une température élevée avant et pendant chaque application de neige nettoyante. Les dispositifs pour jet à pulvérisation, utilisés dans le système, sont orientés de telle façon que les flux de neige nettoyante tombent sur les surfaces planes avec un angle d'incidence de 5 à 45 degrés. Lorsqu'on nettoie des surfaces non planes, les dispositifs pour jet à pulvérisation sont ajustés de façon à former un angle d'environ 45 à 90 degrés. On évalue le niveau de propreté des pièces au cours du nettoyage grâce à une méthode de diffusion de la lumière ou à l'aide d'un analyseur de particules ou de gaz résiduel dans les gaz libérés, ou encore au moyen d'autres types d'analyse des gaz libérés. Le système est particulièrement utile pour éliminer les contaminants sur des surfaces fragiles ou des pièces de précision, que l'on retrouve dans les instruments d'optique ou d'électronique de précision.
Krone-Schmidt Wilfred
Peterson Ronald V.
Gowling Lafleur Henderson Llp
Rave N.p. Inc.
LandOfFree
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