System and method of measuring an optical path difference in...

G - Physics – 01 – B

Patent

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G01B 9/02 (2006.01)

Patent

CA 2499021

An apparatus and a method of measuring an optical path difference in a sensing interferometer. Light from a source is directed in the sensing interferometer. The light reflected from the sensing interferometer is splitted into first and second beams respectively directed into two reference interferometers having optical path differences greater than the coherence length of the source and such that the optical signals are in quadrature. The intensities of the light transmitted by the reference interferometers and recombined light reflected from the reference interferometers are detected for measuring the optical path difference in the sensing interferometer. Additional light sources allow for correction of internal perturbations and absolute measurement of the optical path difference in the sensing interferometer.

L'invention concerne un dispositif et un procédé permettant de mesurer la différence de chemin optique dans un interféromètre de détection. La lumière provenant d'une source est dirigée dans l'interféromètre de détection. La lumière réfléchie à partir de l'interféromètre de détection est divisée en un premier et en un second faisceau, dirigés respectivement dans deux interféromètres de référence dont les différences de chemin optique sont supérieures à la longueur de cohérence de la source et de manière que les signaux optiques soient en quadrature. Les intensités de la lumière émise par les interféromètres de référence et la lumière recombinée réfléchie à partir des interféromètres de référence sont détectées afin de mesurer la différence de chemin optique dans l'interféromètre de détection. Des sources lumineuses additionnelles permettent de corriger les perturbations internes et d'effectuer la mesure absolue de la différence de chemin optique dans l'interféromètre de détection.

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