System and method to measure the transit time position(s) of...

Details System and method to measure the transit time position(s) of... System and method to measure the transit time position(s) of...

G - Physics

01

D

G01D 5/48 (2006.01) G01B 15/02 (2006.01) G01N 9/24 (2006.01) G01N 21/41 (2006.01)

Patent

CA 2692942

A system and method to measure, with increased precision, the transit time position(s) of pulses in a time domain data. An example data set would be the transit time of pulses in Time-Do-main Terahertz (TD-THz) data. The precision of the pulse timing directly affects the precision of determined sample properties measurements (e.g., thickness). Additionally, an internal calibration etalon structure and algorithm method provides for continuous system precision / accuracy check method to increase sample measurement integrity. The etalon structure can improve the precision of sample property measurements (e.g., absolute thickness). Various hardware and system implementations of the above are described.

Système et procédé permettant de mesurer avec une précision accrue la ou les positions de temps de transit d'impulsions dans des données de domaine temps. A titre d'exemple, un ensemble de données correspondrait au temps de transit d'impulsions de données térahertz de domaine temps (TD-THz). La précision du temps de l'impulsion a une incidence directe sur la précision de mesure des propriétés d'un échantillon déterminé (telles que l'épaisseur). De plus, une structure étalon pour étalonnage interne et une méthode algorithmique garantissent la précision continue du système /l'exactitude des contrôles permettant d'accroître l'intégrité des propriétés d'échantillon. La structure étalon permet d'améliorer la précision des mesures des propriétés de l'échantillon (comme l'épaisseur absolue). Sont également décrites divers modes de mise en oeuvre des matériels et systèmes susmentionnés.

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