Systems and methods for fabrication of superconducting...

H - Electricity – 01 – L

Patent

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H01L 39/22 (2006.01) H01L 39/24 (2006.01)

Patent

CA 2751897

Various techniques and apparatus permit fabrication of superconductive circuits and structures, for instance Josephson junctions, which may, for example be useful in quantum computers. For instance, a low magnetic flux noise trilayer structure may be fabricated having a dielectric structure or layer interposed between two elements or layers capable of superconducting. A superconducting via may directly overlie a Josephson junction. A structure, for instance a Josephson junction, may be carried on a planarized dielectric layer. A fin may be employed to remove heat from the structure. A via capable of superconducting may have an aspect ratio greater than 0.7:1. The structure may be coupled to a resistor, for example by vias and/or a strap connector.

L'invention porte sur diverses techniques et sur un appareil qui permettent la fabrication de circuits supraconducteurs et de structures supraconductrices, par exemple des jonctions de Josephson, qui peuvent, par exemple, être utiles dans des ordinateurs quantiques. Par exemple, une structure tricouche à bruit de flux magnétique faible peut être fabriquée avec une structure ou couche diélectrique interposée entre deux éléments ou couches capables de supraconduction. Un trou d'interconnexion supraconducteur peut directement se superposer sur une jonction de Josephson. Une structure, par exemple une jonction de Josephson, peut être portée sur une couche diélectrique rendue planarisée. Une ailette peut être employée pour éliminer la chaleur de la structure. Un trou d'interconnexion capable de supraconduction peut avoir une largeur qui est inférieure à environ 1 micromètre. La structure peut être couplée à une résistance, par exemple par des trous d'interconnexion et/ou un connecteur cavalier.

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