H - Electricity – 01 – L
Patent
H - Electricity
01
L
H01L 21/20 (2006.01)
Patent
CA 2572798
The present invention is directed to methods to harvest, integrate and exploit nanomaterials, and particularly elongated nanowire materials. The invention provides methods for harvesting nanowires that include selectively etching a sacrificial layer placed on a nanowire growth substrate to remove nanowires. The invention also provides methods for integrating nanowires into electronic devices that include placing an outer surface of a cylinder in contact with a fluid suspension of nanowires and rolling the nanowire coated cylinder to deposit nanowires onto a surface. Methods are also provided to deposit nanowires using an ink-jet printer or an aperture to align nanowires. Additional aspects of the invention provide methods for preventing gate shorts in nanowire based transistors. Additional methods for harvesting and integrating nanowires are provided.
La présente invention concerne des procédés de récupération, d'intégration et d'exploitation de nanomatériaux et, en particulier, de matériaux pour nanofils allongés. L'invention concerne des procédés de récupération de nanofils consistant à graver de manière sélective une couche sacrificielle placée sur un substrat de formation de nanofils pour enlever les nanofils. L'invention concerne également des procédés d'intégration de nanofils dans des dispositifs électroniques, consistant à mettre en contact une surface extérieure d'un cylindre avec une suspension fluidique de nanofils, et à faire rouler le cylindre recouvert de nanofils afin de déposer des nanofils sur une surface. L'invention concerne également des procédés de dépôt de nanofils à l'aide d'une imprimante à jet d'encre ou d'une ouverture permettant d'aligner les nanofils. D'autres aspects de l'invention concernent des procédés de prévention de courts-circuits de grille dans des transistors formés de nanofils. L'invention concerne également des procédés de récupération et d'intégration de nanofils.
Chen Jian
Duan Xiangfeng
Dubrow Robert S.
Empedocles Stephen A.
Goldman Jay L.
Nanosys Inc.
Smart & Biggar
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1608583