H - Electricity – 03 – L
Patent
H - Electricity
03
L
H03L 7/00 (2006.01) H03H 9/02 (2006.01) H03H 9/24 (2006.01) H03L 1/02 (2006.01) H03L 7/099 (2006.01)
Patent
CA 2282604
Micromachined, thermally insensitive silicon resonators are provided having accuracy equivalent or superior to that of quartz resonators, and are fabricated from a micromechanical, silicon-on-glass process. In one embodiment, such a resonator is realized using a tuning fork gyroscope (4). Radiation-hard precision voltage references (PVRs) are enabled using the silicon resonators. Thermal sensitivity is reduced relative to that of a silicon-on-silicon process oscillator, providing a thermal sensitivity comparable to that of a quartz oscillator. By employing a micromechanical device based upon a tuning fork gyroscope (4), resonators are made from either or both of the gyro drive and sense axes. A resonator constructed as an oscillator loop (8) whose resonant frequency is compared to a frequency standard provides a bias voltage as a reference voltage (Vref).
L'invention concerne des résonateurs au silicium, thermiquement insensibles, obtenus par micro-usinage, et dotés d'une précision équivalente ou supérieure à celle des résonateurs à quartz, ces résonateurs étant fabriqués par un procédé micromécanique de silicium sur verre. Dans un mode de réalisation, ce résonateur est réalisé à l'aide d'un gyroscope à diapason (4). L'utilisation des résonateurs au silicium permet d'obtenir des références de tension de précision (PVR), résistantes aux radiations. La sensibilité thermique est réduite par rapport à celle d'un oscillateur formé par un procédé de silicium sur silicium, et elle est comparable à celle d'un oscillateur à quartz. En utilisant un dispositif micromécanique basé sur un gyroscope à dispason (4), on obtient des résonateurs à partir d'un axe ou des deux axes de direction et d'entraînement du gyroscope. Un résonateur formé comme une boucle de résonateur (8) dont la fréquence de résonance est comparée à un étalon de fréquence produit une tension de polarisation comme tension de référence (Vref).
Kourepenis Anthony S.
Ward Paul A.
Weinberg Marc S.
Ridout & Maybee Llp
The Charles Stark Draper Laboratory Inc.
LandOfFree
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