B - Operations – Transporting – 82 – B
Patent
B - Operations, Transporting
82
B
B82B 3/00 (2006.01) B81B 1/00 (2006.01) B81C 1/00 (2006.01) G03F 7/00 (2006.01) H01L 21/00 (2006.01)
Patent
CA 2507521
A template is formed from a layered structure comprising a substrate and a single-phase polymer layer positioned on the substrate. The polymer layer comprises a textured surface, the texturing being caused by induction of stress in the polymer layer. The template finds use in the manufacture of a structure on the nanometre scale, which comprises the steps of providing a template and molding a material on to the template, followed by removal of the molded material from the template to provide a structure on the nanometre scale, such as an array, a grid, an optical device or an electronic device. The template may be made by a method comprising the steps of depositing a layer of a single-, phase polymer on to a substrate, baking the resulting structure at a temperature below the glass transition temperature (Tg) of the single-phase polymer, texturing a surface of the polymer layer by inducing stress in the polymer layer and annealing the resulting structure to provide a template.
L'invention concerne un gabarit constitué d'une structure à couches comprenant un substrat et une couche polymère à phase unique placée sur le substrat. La couche polymère comprend une surface granulée, la granulation étant provoquée par induction de tension dans la couche polymère. Le gabarit est utilisé dans la fabrication d'une structure sur l'échelle nanométrique, qui consiste à fournir un gabarit et à mouler une matière sur ledit gabarit puis à extraire la matière moulue dudit gabarit afin d'obtenir une structure sur l'échelle nanométrique, telle qu'une matrice, une grille, un dispositif optique ou un dispositif électronique. Le gabarit peut être effectué par un procédé consistant à déposer une couche polymère à phase unique sur un substrat, à cuire la structure obtenue à une température inférieure à la température de transition vitreuse (T¿g?) du polymère à phase unique, à granuler une surface de la couche polymère par induction de la tension dans la couche polymère et à recuire la structure obtenue afin d'obtenir un gabarit.
Borden Ladner Gervais Llp
Ingenia Holdings Ltd
Ingenia Technology Limited
LandOfFree
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