Thermal mass flowmeter and mass flow controller,...

G - Physics – 01 – F

Patent

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G01F 25/00 (2006.01) G01F 1/684 (2006.01) G01F 1/696 (2006.01) G01F 1/86 (2006.01) G01F 5/00 (2006.01) G01F 15/02 (2006.01) G05B 23/00 (2006.01) G05D 7/06 (2006.01)

Patent

CA 2202293

A flowmeter (100) or mass flow controller (101) used in a manufacturing process with toxic and reactive process fluids. A fluid flow sensor (114) sensesfluid flow. A set point is established based upon predetermined temperature and pressure conditions at which the fluid will be utilized in the process. A valve drive (124) operates a fluid flow valve (126) to the resulting fluid flow rate, this being based upon the sensed flow rate and the set point. A control unit (122) controls the valve drive. The control unit accesses a calibration data set to determine the amount of fluid to be delivered by the fluid flow valve based uponthe sensed flow rate and the set point. This calibration data set is created for the controller over its operational range using a calibration fluid having similar thermodynamic transport properties to a process fluid. The instrument is calibrated using the calibration fluid and the data set is produced by converting the calibration data using process fluid data stored in a data base (200). Accessing the data set stored in the instrument together with routing signals over a communication network (300) permits the instrument to precisely control process fluids without having to introduce external correction factors or other adjustments to the process.

Débitmètre (100) ou régulateur de débit-masse (101) utilisé dans un processus de production avec des fluides de traitement toxiques et réactifs. Un détecteur de débit (114) détecte le débit du fluide. Une valeur de consigne est établie selon les conditions de pression et de température prédéterminées sous lesquelles le liquide sera utilisé pendant le processus. Un entraînement de vanne (124) fait fonctionner une vanne de régulation (126) jusqu'au débit résultant, fondé sur le débit de fluide détecté et la valeur de consigne. Une unité de commande (122) contrôle l'entraînement de vanne. Elle accède à un ensemble de données d'étalonnage pour déterminer la quantité de fluide à être livrée par la vanne de régulation, selon le débit détecté et la valeur de consigne. Cet ensemble de données d'étalonnage est créé pour le régulateur dans l'ensemble de sa plage de fonctionnement en utilisant un fluide d'étalonnage ayant des caractéristiques de transport thermodynamique semblables à un fluide de traitement. L'instrument est étalonné en utilisant le fluide d'étalonnage, et l'ensemble de données est produit par la conversion des données d'étalonnage utilisant les données du fluide de traitement mises en mémoire dans une base de données (200). L'accès à l'ensemble de données mis en mémoire dans l'instrument, de pair avec l'acheminement des signaux vers un réseau de transmission (300), permet à l'instrument de contrôler avec précision les fluides de traitement sans avoir à introduire des facteurs de correction externes ou d'autres réglages au processus.

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