G - Physics – 03 – C
Patent
G - Physics
03
C
G03C 1/492 (2006.01) C09D 167/00 (2006.01) G03F 7/09 (2006.01)
Patent
CA 2305461
Thermosetting, bottom-applied polymeric anti-reflective coatings exhibiting high optical density, rapid plasma etch rates, high solubility in preferred coating solvents, excellent feature coverage, and improved stability in solution are disclosed. The principal component of these new anti-reflective coatings is a polyester resin produced by the reaction of one or more difunctional aliphatic carboxylic acids with a stoichiometric excess of a di- and/or a trifunctional aliphatic primary alcohol, wherein at least one of the dicarboxylic acids may contain a reactive methylene (-CH2-) group. The resulting polyester resin reaction product is further modified by attaching light-absorbing groups to some or all of the reactive methylene groups (if present) and/or hydroxy groups present on the resin. The dye-attached polyester resin is combined with an aminoplast crosslinking agent and acid catalyst in a suitable solvent system to form the final anti-reflective coating.
L'invention concerne des revêtements antireflet polymères appliqués sur le fond et thermodurcissables, présentant une densité optique élevée, des taux d'attaque au plasma élevés, une bonne solubilité dans les solvants de revêtements préférés, une excellente couverture et une stabilité améliorée en solution. Le principal composant de ces nouveaux revêtements anti-reflets est une résine polyester produite par la réaction d'un ou de plusieurs acides carboxyliques aliphatiques difonctionnels avec un excès stoechiométrique d'un alcool primaire aliphatique di- et/ou tri-fonctionnel, selon lequel au moins un des acides dicarboxyliques peut contenir un groupe de méthylène (-CH¿2?-) réactif. Le produit de réaction de résine polyester ainsi obtenu est, en outre, modifié en fixant des groupes absorbant la lumière à certains des groupes de méthylène réactifs ou à tous ces groupes (lorsqu'ils sont présents) et/ou des groupes hydroxy présents sur la résine. La résine de polyester fixée au colorant est combinée à un agent de réticulation d'aminoplaste et un catalyseur acide dans un système solvant approprié pour former le revêtement anti-reflets approprié.
Brewer Terry L.
Flaim Tony D.
Hester Colin
Shao Xie
Bereskin & Parr
Brewer Science Inc.
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1629530