Thin film actuated mirror array for use in an optical...

G - Physics – 02 – B

Patent

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G02B 26/00 (2006.01) G02B 26/02 (2006.01) G02B 26/08 (2006.01) G02B 27/18 (2006.01) H01L 27/20 (2006.01) H04N 5/74 (2006.01) H04N 9/30 (2006.01) H04N 9/31 (2006.01)

Patent

CA 2176111

An array of M x N thin film actuated mirrors For use in an optical projection system comprises an active matrix (52), an array of M x N thin film actuating structures (54), each of the thin Film actuating structures including at least a thin film layer (67) of a motion-inducing material, a pair of electrodes (70, 71), each of the electrodes being provide on top (68) and bottom (69) of the thin film motion-inducing layer (67), an array of M x N supporting members (56), each of the supporting members being used for holding each of the actuating structures (54), in place by cantilevering each of the actuating structures and also for electrically connecting each of the actuating structures and the active matrix, an array of M x N spacer members (58), each of the spacer members being mounted on the top surface of each of the actuating structures (54) at the distal end thereof, and an array of M x N mirror layers for reflecting light beams, each of the mirror layers (60) being secured on each of the spacer members (58) of the actuating structures. An electrical signal is applied across the thinfilm layer (67) of the motion-inducing material located between the pair of electrodes (70, 71) in each of the actuating structures, causing a deformation thereof, which will in turn tilt the mirror layer (60) secured on the spacer member thereof.

Réseau de M x N miroirs (51) actionnés par couches minces, utilisable dans un système de projection optique. Le réseau comporte une matrice active (52), un réseau de M x N structures (54) d'actionnement par couches minces, chaque structure d'actionnement par couches minces comportant au moins une couche mince (67) en matière inductrice de mouvement, une paire d'électrodes (70, 71) prévues respectivement sur la face supérieure (68) et sur la face inférieure (69) de la couche mince (67) inductrice de mouvement, un réseau de M x N éléments porteurs (56) dont chacun sert à maintenir en place par effet porte-à-faux chacune des structures d'actionnement (54) ainsi qu'à relier par voie électrique chaque structure d'actionnement à la matrice active, un réseau de M x N éléments écarteurs (58) dont chacun est monté sur la face supérieure de chacune des structures d'actionnement (54) à son extrémité distale, et un réseau de M x N couches à miroir servant à réfléchir les faisceaux lumineux, chacune des couches à miroir (60) étant solidaire de chacun des éléments écarteurs (58) des structures d'actionnement. On soumet à un signal électrique la couche mince (67) en matière inductrice de mouvement située entre la paire d'électrodes (70, 71) dans chacune des structures d'actionnement, de manière à provoquer une déformation susceptible, à son tour, d'incliner la couche à miroir (60) solidaire de son élément écarteur.

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