G - Physics – 02 – B
Patent
G - Physics
02
B
G02B 26/08 (2006.01) H04N 5/74 (2006.01)
Patent
CA 2218655
An inventive array (300) of M x N thin film actuated mirrors (301) includes an active matrix (210), an insulating layer (220), an etchant stopping layer (230), and an array of M x N actuating structures (200). Each of the actuating structures has a tip at a distal end thereof and an etching aperture traversing therethrough, and further includes a first thin film electrode (285) with a horizontal stripe, a thin film electrodisplacive member (275), a second thin film electrode (265), an elastic member (255) and a conduit (295). The horizontal stripe (285), the tip and the etching aperture are created in order to increase the optical efficiency of each of the thin film actuated mirrors, facilitate the removal of the rinse and allow easy removal of the thin film sacrificial layer, respectively.
Ensemble (300) de M x N miroirs (301) commandés par des couches minces, qui comprend une matrice active (210), une couche isolante (220), une couche d'arrêt d'agent d'attaque chimique (230) et un ensemble de M x N structures de commande (200). Chacune des structures de commande possède une pointe à son extrémité distale et une ouverture d'attaque chimique, qui la traverse, ainsi qu'une première électrode en couche mince (285) pourvue d'une bande horizontale, un élément électrodisplacif en couche mince (275), une deuxième électrode en couche mince (265), un élément élastique (255) et un conduit (295). La bande horizontale (285), la pointe et l'ouverture d'attaque chimique sont réalisées de manière à amplifier l'efficacité optique de chacun des miroirs commandés par des couches minces, à faciliter l'enlèvement du produit de rinçage, ainsi que celui de la couche mince sacrificielle.
Cassan Maclean
Daewoo Electronics Co. Ltd.
LandOfFree
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