G - Physics – 02 – B
Patent
G - Physics
02
B
G02B 26/08 (2006.01) H01L 27/20 (2006.01) H04N 5/74 (2006.01) H04N 9/31 (2006.01)
Patent
CA 2191132
An array of MxN actuated mirrors (51) for use in optical projection system comprises an active matrix (52), an array of MxN elastic members (54), an array of MxN pairs of actuating structures (59), an array of MxN mirrors (62) and array of MxN pairs of supporting members (60). Each of the elastic members (54) is provided with a distal and a proximal ends, the proximal end including a first and a second tab portions, the first tab and the second tab portions being separated by a retraction therebetween, the distal end including a protrusion. The protruding form each of the elastic members extends into the retrusion of a successive elastic member in the array. Each of the actuating structures (57) is located on the first and second tab portions on each of the elastic members (54), respectively, wherein each of the actuating structures includes a bias electrode, a signal electrode and a motion-inducing layer therebetween. Each of the mirrors (51) is formed on top of the elastic members (54). Each pair of the supporting members (60) is used for holding each of the elastic members (54) in place. When the pair of actuating structures (57) deform in response to an electrical signal, the first and second tab portions on the elastic member (54) with the actuating structures (57) attached thereto tilt while the remainder of the elastic member, and, the mirror formed on top thereof, stays planar, thereby alowing all of the mirror to reflect the light beams.
Réseau de MxN miroirs actionnés (51) utilisable dans un système de projection optique. Le réseau comporte une matrice active (52), un réseau de MxN éléments élastiques (54), un réseau de MxN paires de structures d'actionnement (59), un réseau de MxN miroirs (62), et un réseau de MxN éléments porteurs (60). Chacun des éléments élastiques (54) est pourvu d'une extrémité distale et d'une extrémité proximale, dont l'extrémité proximale comprend une première et une seconde patte, les première et seconde pattes étant séparées l'une de l'autre par un évidement, tandis que l'extrémité distale comprend une partie saillante. La forme saillante de chacun des éléments élastiques s'engage dans l'évidement de l'élément élastique suivant du réseau. Chacune des structures d'actionnement (57) se situe respectivement sur la première et la seconde patte de chacun des éléments élastiques (54), et chacune des structures d'actionnement comprend une électrode de polarisation, une électrode de signal et, entre celles-ci, une couche d'induction de mouvement. Chacun des miroirs (51) est formé sur les éléments élastiques (54). Chaque paire d'éléments porteurs (60) sert à maintenir en place chacun des éléments élastiques (54). LOrsque la paire de structures d'actionnement (57) se déforment en réponse à un signal électrique, les première et seconde pattes sur l'élément élastique (54) et les structures d'actionnement (57) fixées à celles-ci s'inclinent tandis que le reste de l'élément élastique et le miroir formé sur celui-ci demeurent plans de manière à permettre à la totalité du miroir de réfléchir les faisceaux lumineux.
Ji Jeong-Beom
Min Yong-Ki
Cassan Maclean
Daewoo Electronics Co. Ltd.
LandOfFree
Thin film actuated mirror array for use in an optical... does not yet have a rating. At this time, there are no reviews or comments for this patent.
If you have personal experience with Thin film actuated mirror array for use in an optical..., we encourage you to share that experience with our LandOfFree.com community. Your opinion is very important and Thin film actuated mirror array for use in an optical... will most certainly appreciate the feedback.
Profile ID: LFCA-PAI-O-1950212