H - Electricity – 01 – P
Patent
H - Electricity
01
P
H01P 3/02 (2006.01) H01L 39/12 (2006.01) H01P 1/20 (2006.01) H01P 1/201 (2006.01) H01P 1/203 (2006.01) H01P 3/06 (2006.01) H01P 3/08 (2006.01) H01P 3/12 (2006.01) H01P 3/18 (2006.01) H01P 7/08 (2006.01) H01P 7/10 (2006.01)
Patent
CA 2170270
A plurality of TEM mode transmission lines (L2- L5) are structured by pairs of thin film conductors (21 and 22, 22 and 23, 23 and 24, and 24 and 25) which sandwich thin film dielectrics (31 to 34) by alternately stacking the thin film conductor (21 to 25) and the thin film dielectric (31 to 34). The phase velocities of TEM mode waves which are propagated at least by two of the transmission lines (L2 to L5) are substantially equal to each other. The thickness of each of the thin film conductors (21 to 25) is smaller than the skin depth of the frequency used so that the electromagnetic fields of at least two TEM mode transmission lines among the TEM mode transmission lines (L2 to L5) are coupled to each other. In this way, the skin depth can be increased effectively. The conductor loss and the surface resistance can be reduced significantly as compared to those of the conventional electrode. By use of this electrode, a transmission line, a resonator, a filter, and a high frequency device are structured.
L'invention utilise plusieurs lignes de transmission (L2 à L5) en mode TEM, c'est à dire en mode électrique et magnétique transversal. Ces lignes sont réparties par couples de conducteurs à couches minces (21 et 22, 22 et 23, 23 et 24, 24 et 25) qui prennent en sandwich des diélectriques à couche mince (31 à 34). En l'occurrence, les conducteurs à couche mince (21 à 25) sont empilés en alternance avec les diélectriques à couche mince (31 à 34). Les vitesses de phase des ondes TEM propagées par au moins deux des lignes de transmission (L2 à L5) sont sensiblement égales. L'épaisseur de chacun des conducteurs à couche mince (21 à 25) est inférieure à la profondeur pelliculaire de la fréquence utilisée, de sorte que les champs électromagnétiques de deux au moins des lignes de transmission en mode TEM (L2 à L5) sont couplés l'un à l'autre. Grâce à cette disposition, la profondeur pelliculaire peut être notablement accrue. La perte dans le conducteur ainsi que la résistance de surface peuvent être réduites de façon importante par comparaison à ce que donnent les électrodes classiques. Cette électrode convient particulièrement à la structure d'une ligne de transmission, d'un résonateur, d'un filtre ou d'un équipement hautes fréquences.
Hidaka Seiji
Ishikawa Youhei
Murata Manufacturing Co. Ltd.
Shapiro Cohen
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1852421