Thin film thickness measurement method and apparatus

G - Physics – 01 – B

Patent

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Details

G01B 11/06 (2006.01)

Patent

CA 2591885

Techniques for non-contacting thikness or caliper measurments of moving webs or sheets employ a sensor device that includes a first sensor head and a sencond sensor head that are spaced apart to define a path through which the moving web travels. The sensor device projects a laser generated, multiple points pattern onto the upper surface of the monving web. Pattern recognition algorithm analysis of the pattern identifies the orientation, e.g.,tilt, of the moving web. The device further measures the film tilt,the distance between the first sensor head and the first web surface, the distance between the second sensor head and the second web surface, and the distance between the two sensor heads to provide a highly accurate on-line thikness measurement of the moving web.

L~invention concerne des techniques de mesure sans contact de l~épaisseur ou du calibre de bandes ou de feuilles en mouvement, à l~aide d~un dispositif de détection comportant une première tête de détection et une deuxième tête de détection espacées pour définir un chemin emprunté par une bande en mouvement. Le dispositif de détection projette un motif de points multiples généré par un laser sur la surface supérieure de la bande en mouvement. Une analyse par algorithme de reconnaissance de motifs identifie l~orientation, notamment l~inclinaison, de la bande en mouvement. Le dispositif mesure également, outre l~inclinaison de la bande, la distance entre la première tête de détection et une première surface de la bande, la distance entre la deuxième tête de détection et une deuxième surface de la bande, ainsi que la distance entre les deux têtes de détection de façon à effectuer une mesure instantanée et très précise de l~épaisseur de la bande en mouvement.

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