G - Physics – 01 – R
Patent
G - Physics
01
R
G01R 33/09 (2006.01) H01L 43/12 (2006.01)
Patent
CA 2601130
A 3-axis magnetic sensor includes a magnetoresistive element formed by a plurality of magnetoresistive element bars connected in series by a bias magnet. The magnetoresistive element of the X-axis sensor and the magnetoresistive element of the Y-axis sensor are formed on a plane parallel to the surface of the substrate. The magnetization sensitivity direction vertical to the longitudinal direction of each of the magnetoresistive element bars. The magnetization direction of the magnetoresistive element of the X- axis sensor orthogonally intersects that of the magnetoresistive element of the Y-axis sensor. Furthermore, the magnetoresistive element of the Z-axis sensor is formed on the inclined surface of the protrusion protruding from the surface of the substrate and its magnetization direction is in the inclined surface. The magnetization sensitivity direction of the Z-axis sensor is vertical to the longitudinal direction of the magnetoresistive element bar.
L'invention concerne un capteur magnétique à 3 axes qui englobe un élément magnétorésistif formé d'une pluralité de barres d'élément magnétorésistif connectées en série par un aimant de polarisation. L'élément magnétorésistif du capteur de l'axe X et l'élément magnétorésistif du capteur de l'axe Y sont formés sur un plan parallèle à la surface du substrat. La direction de sensibilité de magnétisation est verticale par rapport à la direction longitudinale de chacune des barres d'élément magnétorésistif. La direction de magnétisation de l'élément magnétorésistif du capteur de l'axe X coupe à angle droit la direction de l'élément magnétorésistif du capteur de l'axe Y. De plus, l'élément magnétorésistif du capteur de l'axe Z est formé sur la surface inclinée de la partie saillante dépassant de la surface du substrat et sa direction de magnétisation est sur la surface inclinée. La direction de sensibilité de magnétisation du capteur de l'axe Z est verticale par rapport à la direction longitudinale de la barre d'élément magnétorésistif.
Naito Hiroshi
Omura Masayoshi
Oohashi Toshiyuki
Osuga Chihiro
Sato Hideki
Borden Ladner Gervais Llp
Yamaha Corporation
LandOfFree
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